感光性樹脂組成物、樹脂膜の製造方法、有機半導体素子の製造方法および含フッ素重合体

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (3件)：棚井澄雄 , 鈴木三義 , 柳井則子
公報種別：再公表公報
出願番号（国際出願番号）：JP2016053070
公開番号（公開出願番号）：WO2016-125795
出願日： 2016年02月02日
公開日（公表日）： 2016年08月11日
要約：

樹脂膜を形成する際に有機半導体等の基材にダメージを与えにくい架橋性フッ素樹脂を含む感光性樹脂組成物ならびにこれを用いた樹脂膜、有機半導体素子およびその製造方法ならびに感光性樹脂組成物に好適なフッ素樹脂の提供。重合性炭素-炭素二重結合を有し、フッ素原子含有率が47質量%以上であるフッ素樹脂と、重合性炭素-炭素二重結合を有する架橋剤(ただし、前記フッ素樹脂を除く。)と、光開始剤と、非芳香族系含フッ素溶媒とを含む、感光性樹脂組成物。

請求項（抜粋）：

下記フッ素樹脂(A)と下記架橋剤(B)と光開始剤と下記溶媒(D)とを含むことを特徴とする感光性樹脂組成物。フッ素樹脂(A):重合性炭素-炭素二重結合を有し、フッ素原子含有率が47質量%以上であるフッ素樹脂。架橋剤(B):重合性炭素-炭素二重結合を有する架橋剤(ただし、前記フッ素樹脂(A)を除く。)。溶媒(D):芳香環を有しない含フッ素化合物からなり、25°Cにおいて液状である溶媒。

IPC (6件)：

G03F 7/038 , G03F 7/027 , G03F 7/004 , G03F 7/20 , C08F 220/22 , C08F 290/12

FI (7件)：

G03F7/038 501 , G03F7/027 502 , G03F7/004 501 , G03F7/20 501 , G03F7/20 521 , C08F220/22 , C08F290/12

Fターム (82件)：

2H197CA05 , 2H197CE01 , 2H197HA03 , 2H197HA04 , 2H197HA05 , 2H197HA10 , 2H225AC31 , 2H225AC35 , 2H225AC37 , 2H225AC43 , 2H225AC44 , 2H225AC47 , 2H225AC74 , 2H225AC79 , 2H225AD06 , 2H225AN10P , 2H225AN11P , 2H225AN50P , 2H225CA12 , 2H225CB05 , 2H225CC01 , 2H225CC13 , 2H225CD05 , 4J100AL08P , 4J100AL08Q , 4J100AL67R , 4J100AL69R , 4J100BA02P , 4J100BA02Q , 4J100BA02R , 4J100BA03Q , 4J100BB12P , 4J100BB12Q , 4J100BB12R , 4J100BB18P , 4J100BC51P , 4J100CA05 , 4J100DA01 , 4J100FA03 , 4J100FA19 , 4J100JA37 , 4J127BB041 , 4J127BB052 , 4J127BB071 , 4J127BB092 , 4J127BB221 , 4J127BB222 , 4J127BC021 , 4J127BC052 , 4J127BC122 , 4J127BC151 , 4J127BD061 , 4J127BD422 , 4J127BD452 , 4J127BE241 , 4J127BE24X , 4J127BE341 , 4J127BE34X , 4J127BE511 , 4J127BE51Y , 4J127BF121 , 4J127BF12X , 4J127BF141 , 4J127BF14X , 4J127BG041 , 4J127BG04X , 4J127BG071 , 4J127BG072 , 4J127BG07X , 4J127BG07Y , 4J127BG081 , 4J127BG08X , 4J127BG131 , 4J127BG13X , 4J127BG271 , 4J127BG27Y , 4J127CB371 , 4J127CC051 , 4J127CC131 , 4J127CC271 , 4J127FA17 , 4J127FA37

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