特許
J-GLOBAL ID：201703008681875670
透過電子顕微鏡像シミュレーション方法
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (3件)：
小島 清路
, 平岩 康幸
, 鈴木 勝雅
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2016-107859
公開番号（公開出願番号）：特開2017-216081
出願日： 2016年05月30日
公開日（公表日）： 2017年12月07日
要約：
【課題】液体又は気体からなる相の中に存在する固体試料の実観察で得られる透過電子顕微鏡像を高精度にシミュレーションする方法の提供。【解決手段】液体又は気体からなる相では、電子線のエネルギー損失及び進行方向の広がりが生ずるとし、その効果を個別に計算して固体試料から放出された電子による各結像を重畳し、合成結像を得る。【選択図】図2
請求項（抜粋）：
液体又は気体からなる相の中に存在する固体試料の透過電子顕微鏡像をシミュレーションする方法であって、
上記固体試料の少なくとも構成原子及びサイズに関する試料データ、並びに、上記固体試料に入射する電子線の入射条件を入力する第1工程と、
上記電子線が上記相に入射されてから上記固体試料に到達するまでの相部において、上記電子線が散乱せずに上記固体試料に到達する割合(r1)、及び、上記電子線が上記相部における散乱により上記固体試料への入射方向が変化しつつ上記固体試料に到達する割合(r2)を計算する第2工程と、
上記電子線が散乱せずに上記固体試料に到達して上記固体試料から放出された電子による波面(w1)、及び、上記電子線が上記相部における散乱により上記固体試料への入射方向が変化しつつ上記固体試料に到達して上記固体試料から放出された電子による波面(w2)を得る第3工程と、
上記第2工程で得られた割合(r1)及び(r2)と、上記第3工程で得られた波面(w1)及び(w2)とを用いて、下記式(I)により合成波面を得る第4工程と、
(r1)×(w1)+(r2)×(w2) ・・・(I)
上記第4工程で得られた合成波面と、上記液体又は上記気体の種類に依存するパラメーターとを用いて、上記相部において、上記電子線がエネルギーを失わずに上記固体試料に到達する割合(p1)、及び、上記電子線が上記相部における吸収によりエネルギーを損失して上記固体試料に到達する割合(p2)を計算する第5工程と、
上記電子線がエネルギーを失わずに上記固体試料に到達して上記固体試料から放出された電子による結像(q1)、及び、上記電子線が上記相部における吸収によりエネルギーを損失して上記固体試料に到達して上記固体試料から放出された電子による結像(q2)を得る第6工程と、
上記第5工程で得られた割合(p1)及び(p2)と、上記第6工程で得られた結像(q1)及び(q2)とを用いて、下記式(II)により合成結像を得る第7工程と、
(p1)×(q1)+(p2)×(q2) ・・・(II)
を備えることを特徴とする、透過電子顕微鏡像シミュレーション方法。
IPC (2件)：
FI (2件)：
H01J37/26
, H01J37/22 501Z
