特許
J-GLOBAL ID：201703008694182266
基板搬送システム
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：
三好 秀和
, 伊藤 正和
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-049915
公開番号（公開出願番号）：特開2014-175636
特許番号：特許第6065668号
出願日： 2013年03月13日
公開日（公表日）： 2014年09月22日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 複数の球状基板が格納され、底面に前記基板が通過可能な面積の開口部を有する供給トレイと、
前記供給トレイの下方に配置され、前記供給トレイの前記底面に密着させることで前記開口部を閉鎖する形状を有する弁と、
前記供給トレイの前記底面に密着する位置と前記底面から離間した位置との間で前記弁を上下方向に移動させ、前記弁による前記開口部の開閉を制御する開閉制御装置と
を備えることを特徴とする基板搬送システム。
IPC (1件)：
FI (1件)：
引用特許：
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