特許
J-GLOBAL ID：201703008725099826

形状測定装置、形状測定方法、構造物の製造方法、及び形状測定プログラム

発明者：
山口 雅哉

山口 雅哉 について


出願人/特許権者：
株式会社ニコン

株式会社ニコン について


代理人 (2件)： 川北 喜十郎 ,  藤田 正広
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2016-170530
公開番号（公開出願番号）：特開2017-015723
出願日： 2016年09月01日
公開日（公表日）： 2017年01月19日
要約：
【課題】形状を正確に測定することができる形状測定装置を提供する。【解決手段】測定対象の測定領域に測定光を照射する照射部21と、照射部により照射された位置を含む測定領域の像を取得する撮像部22と、測定対象を載置するテーブルと、検出部20で検出された像から、測定領域の位置を算出する座標算出部53と、撮像部とテーブルとを相対的に駆動制御する位置決め機構54とを有し、位置決め機構は、測定対象が繰り返しの凹凸形状における測定領域の凸部の稜線方向または凹部が連なる方向の情報に基づき、撮像部と前記テーブルとの相対位置を算出し、テーブルと撮像部とを相対的に移動する。【選択図】図2
請求項（抜粋）：
繰り返しの凹凸形状を有する測定対象の形状を測定する形状測定装置であって、 前記測定対象の前記繰り返しの凹凸形状を含む測定領域にライン状に測定光を照射する照射部と、 前記照射部により照射された位置を含む前記測定領域の像を取得する撮像部と、 前記測定対象を載置するテーブルと、 前記撮像部に対して前記テーブルに載置された前記測定対象を回転する回転移動部とを有し、 前記照射部は前記測定光の前記ラインの向きが、前記回転移動部の回転方向及び前記凹凸形状の稜線方向の両方に対して傾くように前記測定光を照射する形状測定装置。
IPC (1件)：
G01B 11/24
FI (1件)：
G01B11/24 K
Fターム (17件)：
2F065AA51 ,  2F065BB05 ,  2F065CC08 ,  2F065DD03 ,  2F065DD06 ,  2F065FF04 ,  2F065HH05 ,  2F065HH12 ,  2F065JJ19 ,  2F065JJ26 ,  2F065MM06 ,  2F065MM08 ,  2F065PP13 ,  2F065QQ24 ,  2F065QQ25 ,  2F065QQ31 ,  2F065RR08
引用特許：
出願人引用 (2件)
  • 形状認識装置
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平11-033965   出願人：スズキ株式会社
  • 三次元形状測定装置
    公報種別：公開公報   出願番号：特願2009-062950   出願人：株式会社ニコン
審査官引用 (2件)
  • 形状認識装置
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平11-033965   出願人：スズキ株式会社
  • 三次元形状測定装置
    公報種別：公開公報   出願番号：特願2009-062950   出願人：株式会社ニコン

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