特許
J-GLOBAL ID：201703008902370420
流量測定装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (3件)：
井上 学
, 戸田 裕二
, 岩崎 重美
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2016-207465
公開番号（公開出願番号）：特開2017-037091
出願日： 2016年10月24日
公開日（公表日）： 2017年02月16日
要約：
【課題】特性ばらつきの少ない高精度の流量測定装置を提供する。【解決手段】半導体センサ素子は、発熱抵抗体201が形成される側の表面であって、ダイアフラム106とパッドとの間に、少なくとも第一の有機保護膜109bと第二の有機保護膜109aを有しており、第一の有機保護膜109bと第二の有機保護膜109aは、有機保護膜が形成されない領域によって分離されており、第一の有機保護膜109bは、有機保護膜が形成されない領域よりダイアフラム側に形成され、第二の有機保護膜109aは、有機保護膜が形成されない領域よりパッド側に形成され、第一の有機保護膜109bのパッド側の端部は、発熱抵抗体201から所定の距離離れており、シール材の端部は、第一の有機保護膜109bのパッド側の端部から、第二の有機保護膜109aのパッド側の端の間にある。【選択図】図4
請求項（抜粋）：
ダイアフラムに設けられた発熱抵抗体とパッドと該パッドと該発熱抵抗体とを電気的に接続する配線とを有する半導体センサ素子と、
前記パッドと電気的に接続される金属製のワイヤと、
前記パッドおよび前記ワイヤを保護するシール材と、を有する流量測定装置であって、
前記半導体センサ素子は、
前記発熱抵抗体が形成される側の表面であって、前記ダイアフラムと前記パッドとの間に、少なくとも第一の有機保護膜と第二の有機保護膜とを有しており、
前記第一の有機保護膜と前記第二の有機保護膜は、有機保護膜が形成されない領域によって分離されており、
前記第一の有機保護膜は、前記有機保護膜が形成されない領域より前記ダイアフラム側に形成され、
前記第二の有機保護膜は、前記有機保護膜が形成されない領域より前記パッド側に形成され、
前記第一の有機保護膜の前記パッド側の端部は、前記発熱抵抗体から所定の距離離れており、
前記シール材の端部は、前記第一の有機保護膜の前記パッド側の端部から、前記第二の有機保護膜の前記パッド側の端部の間にある流量測定装置。
IPC (1件)：
FI (1件)：
Fターム (1件)：
引用特許：
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