特許
J-GLOBAL ID：201703009135171382
露光描画装置、露光描画方法およびプログラム
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (3件)：
中島 淳
, 加藤 和詳
, 福田 浩志
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-117202
公開番号（公開出願番号）：特開2014-235342
特許番号：特許第6131108号
出願日： 2013年06月03日
公開日（公表日）： 2014年12月15日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 描画対象に描画する画像を示す画像データを取得する画像データ取得部と、
入射した光を複数のマイクロミラーのオンオフによって空間変調して前記画像データに対応したパターン光を生成し、前記パターン光を前記描画対象に照射する露光ヘッドと、
前記露光ヘッドが前記描画対象に前記パターン光を照射している状態において、前記露光ヘッドに対する前記描画対象の相対位置を移動させる移動機構と、
前記画像データに基づいて、前記複数のマイクロミラーの各々について当該マイクロミラーのフレーム期間毎のオンオフの状態に対応した複数の論理値を含む第1の制御データを生成する第1の制御データ生成部と、
前記第1の制御データに基づいて、前記複数のマイクロミラーのオンオフを制御する制御部と、
前記複数のマイクロミラーの少なくとも1つに対して、当該マイクロミラーに対応する描画点とは異なる位置に少なくとも1つの仮想的な仮想描画点を形成する仮想マイクロミラーを設定する仮想マイクロミラー設定部と、
前記仮想描画点において前記画像データによって示される画像の当該仮想描画点に対応する部分を描画する場合の当該仮想マイクロミラーのフレーム期間毎のオンオフの状態に対応した複数の論理値を含む第2の制御データを生成する第2の制御データ生成部と、
前記仮想マイクロミラーが設定されたマイクロミラーに対応する第1の制御データにおけるフレーム期間毎の論理値を、当該仮想マイクロミラーに対応する第2の制御データにおける対応するフレーム期間の論理値との論理演算を行うことによって得られた値によって補正する制御データ補正部と、
を含む露光描画装置。
IPC (1件)：
FI (1件)：
引用特許：
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