特許
J-GLOBAL ID:201703009251327985
質量分析計
発明者:
,
出願人/特許権者:
代理人 (13件):
奥山 尚一
, 有原 幸一
, 松島 鉄男
, 河村 英文
, 中村 綾子
, 森本 聡二
, 角田 恭子
, 田中 祐
, 徳本 浩一
, 渡辺 篤司
, 児玉 真衣
, 水島 亜希子
, 増屋 徹
公報種別:特許公報
出願番号(国際出願番号):特願2014-518577
特許番号:特許第6170916号
出願日: 2012年06月01日
請求項(抜粋):
【請求項1】 質量分析器(102)と、検出器(103)と、イオン源(101)とを備えた質量分析計であって、前記イオン源(101)はイオン化装置(104)を含み、前記イオン化装置(104)は、
光、プラズマ(306)イオン、およびプラズマ(306)電子を含むプラズマ(306)を発生させるように構成されたプラズマ源(201)であって、光の少なくとも一部がアパーチャ(408)を通過しかつガス試料(405)に入射するように配置されたアパーチャ(408)を含むプラズマ源(201)と、
イオン化領域(202)と、
電界を確立するように構成された複数の電極を含むプラズマ偏向装置であって、前記プラズマ(306)イオンが前記イオン化領域(202)に入るのを前記電界が実質的に防止するようにしたプラズマ偏向装置(203)と
を備える、
質量分析計(100)。
IPC (3件):
H01J 49/10 ( 200 6.01)
, H01J 49/26 ( 200 6.01)
, G01N 27/62 ( 200 6.01)
FI (3件):
H01J 49/10
, H01J 49/26
, G01N 27/62 G
引用特許: