アレイ基板の製造方法、液晶表示装置の製造方法、及び、アレイ基板における共通電極-画素電極間絶縁膜用感光性組成物

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：特許業務法人太陽国際特許事務所 , 野口恭弘
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2016-007812
公開番号（公開出願番号）：特開2017-129663
出願日： 2016年01月19日
公開日（公表日）： 2017年07月27日
要約：

【課題】共通電極-画素電極間絶縁膜において高精細なパターン形成が可能であり、また、生産性に優れたアレイ基板の製造方法、及び、上記アレイ基板の製造方法を用いた液晶表示装置の製造方法、並びに、高精細なパターン形成が可能であるアレイ基板における共通電極-画素電極間絶縁膜用感光性組成物を提供すること。【解決手段】能動素子と、上記能動素子の上に設けられた第1の絶縁膜と、上記第1の絶縁膜の上に、いずれか一方が共通電極であって他方が画素電極である第1の電極及び第2の電極と、上記第1の電極と上記第2の電極との間に配置された第2の絶縁膜とを有し、上記第2の絶縁膜の形成に、酸基が酸分解性基で保護された基を有する構成単位を有する重合体を含む重合体成分、金属酸化物粒子、光酸発生剤を含み、かつ上記重合体成分として又は他の化合物架橋性基を有する成分を含む組成物を用いるアレイ基板の製造方法。【選択図】なし

請求項（抜粋）：

能動素子と、前記能動素子の上に設けられた第1の絶縁膜と、前記第1の絶縁膜の上に、いずれか一方が共通電極であって他方が画素電極である第1の電極及び第2の電極と、前記第1の電極と前記第2の電極との間に配置された第2の絶縁膜とを有するアレイ基板の製造方法であって、前記第2の絶縁膜を形成する工程が、少なくとも下記工程1〜工程3を含むことを特徴とするアレイ基板の製造方法。工程1:前記第1の絶縁膜を有する基板上に、下記成分A〜成分Dを含有しかつ下記a〜cの少なくとも1つの要件を満たす第2の感光性組成物を用いて塗膜を形成する工程、成分A:酸基が酸分解性基で保護された基を有する構成単位a1を有する重合体を含む重合体成分; 成分B:アルミニウム、ジルコニウム、チタニウム、亜鉛、インジウム、スズ、アンチモン、セリウム及びバリウムよりなる群から選ばれた少なくとも1種の元素を含む金属酸化物粒子; 成分C:光酸発生剤; 成分D:溶剤; a:前記酸基が酸分解性基で保護された基を有する構成単位a1を有する重合体が、架橋性基を有する構成単位a2を更に有する; b:成分Aが、架橋性基を有する構成単位a2を有する重合体を更に含む; c:前記第2の感光性組成物が、架橋性基を有する分子量1,000以下の化合物を更に含む; 工程2:工程1で形成された前記塗膜の少なくとも一部に活性放射線を照射する工程、並びに、工程3:工程2で活性放射線を照射された前記塗膜を現像する工程。

IPC (6件)：

G03F 7/039 , G03F 7/004 , G02F 1/133 , G02F 1/134 , G02F 1/136 , C08F 2/48

FI (7件)：

G03F7/039 601 , G03F7/004 501 , G03F7/004 503A , G02F1/1333 505 , G02F1/1343 , G02F1/1368 , C08F2/48

Fターム (154件)：

2H092GA14 , 2H092GA17 , 2H092JA26 , 2H092JA46 , 2H092JB05 , 2H092JB13 , 2H092JB56 , 2H092JB57 , 2H092KB24 , 2H092KB25 , 2H092NA07 , 2H092NA18 , 2H092QA06 , 2H125AC35 , 2H125AC36 , 2H125AC43 , 2H125AC44 , 2H125AC46 , 2H125AC49 , 2H125AC72 , 2H125AD02 , 2H125AD06 , 2H125AE06P , 2H125AE13P , 2H125AE18P , 2H125AF05P , 2H125AF52P , 2H125AH05 , 2H125AJ14X , 2H125AJ63X , 2H125AJ64X , 2H125AM62P , 2H125AM64P , 2H125AM66P , 2H125AM86P , 2H125AM95P , 2H125AN22P , 2H125AN33P , 2H125AN36P , 2H125AN39P , 2H125AN47P , 2H125AN65P , 2H125AN73P , 2H125AN86P , 2H125AP08P , 2H125AP10P , 2H125BA01P , 2H125BA02P , 2H125BA05P , 2H125BA09P , 2H125BA13P , 2H125BA20P , 2H125BA22P , 2H125BA26P , 2H125BA32P , 2H125BA33P , 2H125BA35P , 2H125CA22 , 2H125CB05 , 2H125CC01 , 2H125CC03 , 2H125CC13 , 2H125CC15 , 2H125CC21 , 2H125CD08P , 2H125CD20P , 2H125CD22P , 2H125CD31 , 2H125CD36 , 2H125FA18 , 2H190HA03 , 2H190HA06 , 2H190HB13 , 2H190HB18 , 2H190HC10 , 2H190HC13 , 2H190HD08 , 2H190KA04 , 2H190LA01 , 2H190LA04 , 2H192AA24 , 2H192BB13 , 2H192BB73 , 2H192BC31 , 2H192CB05 , 2H192EA67 , 2H192EA74 , 2H192JA33 , 2H225AC35 , 2H225AC36 , 2H225AC43 , 2H225AC44 , 2H225AC46 , 2H225AC49 , 2H225AC72 , 2H225AD02 , 2H225AD06 , 2H225AE06P , 2H225AE13P , 2H225AE18P , 2H225AF05P , 2H225AF82P , 2H225AH03 , 2H225AJ13 , 2H225AJ52 , 2H225AJ53 , 2H225AM62P , 2H225AM64P , 2H225AM66P , 2H225AM86P , 2H225AM95P , 2H225AN22P , 2H225AN33P , 2H225AN36P , 2H225AN39P , 2H225AN47P , 2H225AN65P , 2H225AN73P , 2H225AN86P , 2H225AP08P , 2H225AP10P , 2H225BA01P , 2H225BA02P , 2H225BA05P , 2H225BA09P , 2H225BA13P , 2H225BA20P , 2H225BA22P , 2H225BA26P , 2H225BA32P , 2H225BA33P , 2H225BA35P , 2H225CA22 , 2H225CB05 , 2H225CC01 , 2H225CC03 , 2H225CC13 , 2H225CC15 , 2H225CC21 , 2H225CD18 , 4J011AC04 , 4J011CA01 , 4J011CA08 , 4J011PA07 , 4J011QA02 , 4J011QA03 , 4J011QA34 , 4J011QA37 , 4J011QB00 , 4J011TA06 , 4J011TA08 , 4J011UA01 , 4J011VA01 , 4J011WA10

前のページに戻る