特許
J-GLOBAL ID：201703009471073097
インプリント装置、インプリント方法、および物品の製造方法
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：
阿部 琢磨
, 黒岩 創吾
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2015-254740
公開番号（公開出願番号）：特開2017-118054
出願日： 2015年12月25日
公開日（公表日）： 2017年06月29日
要約：
【課題】 モールドおよび被処理領域を有する物体の光の吸収係数によらず、モールドに対して相対的に被処理領域を変形させること。【解決手段】 本発明は、型2を用いて物体3の被処理領域上3aにインプリント材4のパターンを形成するインプリント装置1に関する発明である。インプリント装置1は、物体3の前記被処理領域3a側とは反対側の面が対向する状態で物体3を保持するチャック16と、チャック16が物体3を保持した状態で、物体2の反対側の面側にあり且つ物体3またはチャック16に設けられた凹部34、51に位置し、反対側の面における被処理領域の裏側の領域33に向けて熱エネルギーを放出する放熱部材21と、放熱部材21が被処理領域3aを変形させている間に被処理領域3a上の前記インプリント材4を硬化する硬化手段5と、を有する。【選択図】 図4
請求項（抜粋）：
型を用いて物体の被処理領域上にインプリント材のパターンを形成するインプリント装置であって、
前記物体の前記被処理領域側とは反対側の面が対向する状態で前記物体を保持する保持部材と、
前記保持部材が前記物体を保持した状態で、前記物体の前記反対側の面側にあり且つ前記物体または前記保持部材に設けられた凹部に位置し、前記反対側の面における前記被処理領域の裏側の領域に向けて熱エネルギーを放出する放熱部材と、
前記放熱部材が前記被処理領域を変形させている間に前記被処理領域上の前記インプリント材を硬化する硬化手段と、
を有することを特徴とするインプリント装置。
IPC (1件)：
FI (1件)：
Fターム (2件)：
前のページに戻る
