特許

J-GLOBAL ID：201703009914925687

接着助剤の選定方法

発明者： 谷本 明敏 ,  榎本 哲也 ,  大江 匡之 ,  松家 則孝 ,  水野 康平
出願人/特許権者： 日立化成デュポンマイクロシステムズ株式会社
代理人 (4件)： 渡邊 喜平 ,  田中 有子 ,  平山 晃二 ,  佐藤 猛
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2016-000219
公開番号（公開出願番号）：特開2017-122759
出願日： 2016年01月04日
公開日（公表日）： 2017年07月13日
要約：

【課題】感光性樹脂組成物に使用する接着助剤の選定を簡便且つ短時間にできる接着助剤の選定方法を提供する。【解決手段】アルカリ可溶性樹脂と、活性光線の照射によって酸を発生する化合物又は活性光線の照射によってラジカルを発生する化合物と、接着助剤とを含有する感光性樹脂組成物の接着助剤を、(1)接着助剤及び基板を構成する材料の混合物、並びに接着助剤単独について熱重量減少曲線及び示差熱分析曲線をそれぞれ測定し、混合物の熱重量減少曲線が接着助剤単独よりも高温側へシフトしている、及び混合物の示差熱分析曲線が接着助剤単独では観測されない発熱ピーク又は吸熱ピークを有する、及び(2)接着助剤及びアルカリ可溶性樹脂の混合物、並びに接着助剤単独について熱重量減少曲線及び示差熱分析曲線をそれぞれ測定し、混合物の熱重量減少曲線が接着助剤単独よりも高温側へシフトしている、及び混合物の示差熱分析曲線が接着助剤単独では観測されない発熱ピーク又は吸熱ピークを有するを満たすものとする基板に対する接着性を向上させる接着助剤の選定方法。【選択図】なし

請求項（抜粋）：

アルカリ可溶性樹脂と、活性光線の照射によって酸を発生する化合物又は活性光線の照射によってラジカルを発生する化合物と、接着助剤とを含有する感光性樹脂組成物の、基板に対する接着性を向上させる接着助剤の選定方法であって、 前記接着助剤を下記(1)及び(2)を満たすものとする接着助剤の選定方法。 (1)前記接着助剤及び前記基板を構成する材料の混合物、並びに前記接着助剤単独について熱重量減少曲線及び示差熱分析曲線をそれぞれ測定し、前記混合物の熱重量減少曲線が前記接着助剤単独の熱重量減少曲線よりも高温側へシフトしている、及び前記混合物の示差熱分析曲線が前記接着助剤単独の示差熱分析曲線では観測されない発熱ピーク又は吸熱ピークを有する。 (2)前記接着助剤及び前記アルカリ可溶性樹脂の混合物、並びに前記接着助剤単独について熱重量減少曲線及び示差熱分析曲線をそれぞれ測定し、前記混合物の熱重量減少曲線が前記接着助剤単独の熱重量減少曲線よりも高温側へシフトしている、及び前記混合物の示差熱分析曲線が前記接着助剤単独の示差熱分析曲線では観測されない発熱ピーク又は吸熱ピークを有する。

IPC (6件)：

G03F 7/075 ,  G03F 7/023 ,  G01N 25/20 ,  G03F 7/20 ,  C08F 2/44 ,  C08F 283/04

FI (6件)：

G03F7/075 501 ,  G03F7/023 ,  G01N25/20 G ,  G03F7/20 521 ,  C08F2/44 C ,  C08F283/04

Fターム (68件)：

2G040AB11 ,  2G040AB12 ,  2G040BA02 ,  2G040CA02 ,  2G040CA16 ,  2G040HA05 ,  2G040ZA02 ,  2H125AC64 ,  2H125AC66 ,  2H125AC79 ,  2H125AD06 ,  2H125AF05P ,  2H125AM75P ,  2H125AM99P ,  2H125AN54P ,  2H125AN68P ,  2H125AN82P ,  2H125AN87P ,  2H125BA01P ,  2H125BA05P ,  2H125CA12 ,  2H125CC01 ,  2H125CC03 ,  2H125CC12 ,  2H125CC21 ,  2H197CA02 ,  2H197CA03 ,  2H197CA06 ,  2H197CA09 ,  2H197CA10 ,  2H197CE01 ,  2H197CE10 ,  2H197HA03 ,  2H225AC64 ,  2H225AC66 ,  2H225AC79 ,  2H225AD06 ,  2H225AF05P ,  2H225AM75P ,  2H225AM99P ,  2H225AN54P ,  2H225AN68P ,  2H225AN82P ,  2H225AN87P ,  2H225BA01P ,  2H225BA05P ,  2H225CA12 ,  2H225CC01 ,  2H225CC03 ,  2H225CC12 ,  2H225CC21 ,  4J011PA27 ,  4J011PA37 ,  4J011PA47 ,  4J011PA97 ,  4J011PB39 ,  4J011PB40 ,  4J011PC02 ,  4J011PC08 ,  4J026AB34 ,  4J026BA27 ,  4J026DB06 ,  4J026DB09 ,  4J026DB11 ,  4J026DB36 ,  4J026FA05 ,  4J026FA09 ,  4J026GA06