特許

J-GLOBAL ID：201703010055089160

金属体の形状検査装置及び金属体の形状検査方法

発明者： 赤木 俊夫 ,  今野 雄介 ,  山地 宏尚 ,  梅村 純
出願人/特許権者： 新日鐵住金株式会社
代理人 (4件)： 亀谷 美明 ,  金本 哲男 ,  萩原 康司 ,  松本 一騎
公報種別：再公表公報
出願番号（国際出願番号）：JP2016065261
公開番号（公開出願番号）：WO2016-194698
出願日： 2016年05月24日
公開日（公表日）： 2016年12月08日
要約：

【課題】より高速、高密度かつ簡便に金属体の形状検査を実施する。【解決手段】本発明の装置は、金属体に対し少なくとも2つの照明光を照射し反射光を互いに区別して測定する測定装置と、測定結果に基づき金属体の形状検査に用いられる情報を算出する演算処理装置とを備える。測定装置は、ピーク波長の異なる帯状の照明光を夫々照射する複数の照明光源と、金属体の表面の鉛直上方に照射される照明光のピーク波長の個数と同じ数だけ並置され、夫々が有するシフトレンズにより金属体の同一部位を撮像するように設定され、バンドパスフィルタを有する複数のモノクロラインセンサカメラとを有する。複数の照明光源のうち少なくとも2つは、金属体表面の法線方向と第1の照明光源の光軸とがなす角度と法線方向と第2の照明光源の光軸とがなす角度とが略等しくなり、ラインセンサカメラを挟んで金属体と測定装置との相対移動方向に対向するよう配設される。

請求項（抜粋）：

金属体に対して少なくとも2つの照明光を照射し、前記金属体の同一部位からの前記少なくとも2つの照明光の反射光を互いに区別して測定する測定装置と、 前記測定装置による測定処理を制御しつつ、前記測定装置による前記反射光の輝度値の測定結果に基づいて、前記金属体の形状検査に用いられる情報を算出する演算処理装置と、を備え、 前記測定装置は、 前記金属体に対してピーク波長が互いに異なる帯状の照明光をそれぞれ照射する複数の照明光源と、 前記金属体の表面の鉛直上方に、前記複数の照明光源から照射される照明光のピーク波長の個数と同じ数だけ並置されており、それぞれが有するシフトレンズにより前記金属体の同一部位を撮像するように設定された複数のモノクロラインセンサカメラからなるラインセンサカメラ群と、を有し、 前記複数の照明光源のうち少なくとも2つは、前記金属体の表面の法線方向と第1の前記照明光源の光軸とがなす第1の角度と、前記法線方向と第2の前記照明光源の光軸とがなす第2の角度と、が略等しくなり、かつ、前記モノクロラインセンサカメラを挟んで前記金属体と前記測定装置との相対移動方向に対向するように配設され、 それぞれの前記モノクロラインセンサカメラには、当該モノクロラインセンサカメラが有する撮像素子の前段に、前記複数の照明光源のうちのそれぞれ異なる照明光源のピーク波長に対応した透過波長帯域を有するバンドパスフィルタが設けられており、それぞれの前記モノクロラインセンサカメラでは、前記バンドパスフィルタの透過波長帯域に含まれるピーク波長を有する前記照明光源からの照明光の反射光が結像し、 前記演算処理装置は、前記第1の照明光源のピーク波長を最も高い透過率で透過させる前記バンドパスフィルタを有する前記モノクロラインセンサカメラの輝度値と、前記第2の照明光源のピーク波長を最も高い透過率で透過させる前記バンドパスフィルタを有する前記モノクロラインセンサカメラの輝度値との差分を用いて、前記情報として前記金属体の表面の傾きを算出する、金属体の形状検査装置。

IPC (2件)：

G01B 11/26 ,  G01B 11/25

FI (2件)：

G01B11/26 H ,  G01B11/25 H

Fターム (24件)：

2F065AA24 ,  2F065AA31 ,  2F065AA49 ,  2F065BB01 ,  2F065BB15 ,  2F065CC06 ,  2F065DD03 ,  2F065DD04 ,  2F065DD09 ,  2F065FF04 ,  2F065FF41 ,  2F065GG14 ,  2F065GG16 ,  2F065GG23 ,  2F065JJ02 ,  2F065JJ05 ,  2F065JJ25 ,  2F065LL22 ,  2F065MM03 ,  2F065QQ25 ,  2F065QQ28 ,  2F065QQ31 ,  2F065SS02 ,  2F065SS13