特許

J-GLOBAL ID：201703010155445860

L10型FeNi規則合金の製造方法

発明者： 水口 将輝 ,  田代 敬之 ,  高梨 弘毅 ,  小嶋 隆幸
出願人/特許権者： 国立大学法人東北大学
代理人 (2件)： 須田 篤 ,  楠 修二
公報種別：再公表公報
出願番号（国際出願番号）：JP2014072874
公開番号（公開出願番号）：WO2015-053006
出願日： 2014年09月01日
公開日（公表日）： 2015年04月16日
要約：

【課題】比較的簡便な方法で薄膜状のL10型FeNi規則合金を製造することができる、L10型FeNi規則合金の製造方法を提供する。【解決手段】不活性ガス雰囲気中で、回転する基板の表面にFeとNiとを同時または交互にスパッタしてFeNi合金薄膜またはFe/Ni多層膜を製造し、真空雰囲気中または不活性ガス雰囲気中で、その薄膜を310°C以上400°C未満の所定の温度まで、10°C/秒以上の昇温速度で加熱した後、その所定の温度で2時間以上保持する。基板はMgO単結晶基板から成り、基板の表面が(001)面であることが好ましい。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

真空雰囲気中または不活性ガス雰囲気中で、FeとNiとを含む薄膜を所定の温度まで加熱した後、前記所定の温度で所定の時間保持する加熱工程を有することを特徴とするL10型FeNi規則合金の製造方法。

IPC (7件)：

C23C 14/58 ,  C30B 29/52 ,  C30B 1/04 ,  C22F 1/10 ,  C22C 38/00 ,  C23C 14/14 ,  C23C 14/18

FI (8件)：

C23C14/58 A ,  C30B29/52 ,  C30B1/04 ,  C22F1/10 B ,  C22C38/00 303Z ,  C23C14/14 G ,  C23C14/18 ,  C23C14/14 D

Fターム (25件)：

4G077AA03 ,  4G077BA08 ,  4G077BA09 ,  4G077CA04 ,  4G077ED05 ,  4G077ED06 ,  4G077HA03 ,  4G077JA03 ,  4G077JA06 ,  4G077JB07 ,  4K029AA04 ,  4K029AA24 ,  4K029BA09 ,  4K029BA12 ,  4K029BA25 ,  4K029BA26 ,  4K029BB02 ,  4K029BB07 ,  4K029BC06 ,  4K029CA05 ,  4K029DC16 ,  4K029DC39 ,  4K029GA01 ,  4K029JA02 ,  4K029JA08