特許
J-GLOBAL ID：201703010182428187
厚さ測定装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：
原 拓実
, 杉山 元勇
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2016-036157
公開番号（公開出願番号）：特開2017-151053
出願日： 2016年02月26日
公開日（公表日）： 2017年08月31日
要約：
【課題】測定対象物の厚さの測定誤差の生じない厚さ測定装置を提供する。【解決手段】厚さ測定装置1は、測定対象物90に放射線を照射する放射線源10と、測定対象物を介して放射線源と対向する位置に配置され、測定対象物を透過した放射線を検出する主検出器20と、主検出器の周囲に配置され、測定対象物を透過した放射線を検出する副検出器30と、主検出器の中心点と放射線源の放射範囲の中心点との変位量に対応する補正値を副検出器により得られた放射線量の変化率に対応付けて、予め格納している記憶部41と、副検出器により得られた放射線量に基づいて、記憶部に格納された補正値を求め、補正値によって主検出器により得られた放射線量を補正する補正手段40と、補正手段により補正された放射線量に基づいて測定対象物の厚さを算出する厚さ算出手段50と、を具備している。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
測定対象物に放射線を照射する放射線源と、
前記測定対象物を介して前記放射線源と対向する位置に配置され、前記測定対象物を透過した放射線を検出する主検出器と、
前記主検出器の周囲に配置され、前記測定対象物を透過した放射線を検出する副検出器と、
前記主検出器の中心点と前記放射線源の放射範囲の中心点との変位量に対応する補正値を前記副検出器により得られた放射線量の変化率に対応付けて、予め格納している記憶部と、
前記副検出器により得られた放射線量に基づいて、前記記憶部に格納された前記補正値を求め、その補正値によって前記主検出器により得られた放射線量を補正する補正手段と、
前記補正手段により補正された放射線量に基づいて前記測定対象物の厚さを算出する厚さ算出手段と、
を具備した厚さ測定装置。
IPC (1件)：
FI (1件)：
Fターム (12件)：
2F067AA27
, 2F067CC05
, 2F067DD01
, 2F067FF01
, 2F067FF11
, 2F067HH04
, 2F067HH05
, 2F067KK06
, 2F067LL02
, 2F067RR12
, 2F067RR24
, 2F067SS01
