特許

J-GLOBAL ID：201703010195292292

光源装置及び検査装置

発明者： 中村 共則 ,  西沢 充哲
出願人/特許権者： 浜松ホトニクス株式会社
代理人 (4件)： 長谷川 芳樹 ,  黒木 義樹 ,  柴山 健一 ,  内藤 泰史
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2016-556341
特許番号：特許第6059411号
出願日： 2016年05月10日
要約：

【要約】 光源装置は、インコヒーレントな光を発生する光源と、波長毎のゲインを示すゲイン特性を有し、光源によって出力されたインコヒーレントな光が入力光として入力され、当該入力光を増幅した増幅光を出力する光増幅器と、を備え、入力光の波長毎の強度を示す強度分布の中心波長は、光増幅器の波長毎のゲインを示すゲイン特性の中心波長よりも長波長である。

請求項（抜粋）：

【請求項1】 インコヒーレントな光を発生する光源と、 波長毎のゲインを示すゲイン特性を有し、前記インコヒーレントな光が入力光として入力され、前記入力光の強度を増幅した増幅光を出力する光増幅器と、を備え、 前記入力光の波長毎の強度を示す強度分布の中心波長は、前記ゲイン特性の中心波長よりも長波長である、光源装置。

IPC (2件)：

H01S 5/50 ( 200 6.01) ,  G01R 31/302 ( 200 6.01)

FI (2件)：

H01S 5/50 610 ,  G01R 31/28 L

引用特許：

出願人引用 (2件)

• 集積回路検査装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2011-121893   出願人：浜松ホトニクス株式会社
• ファイバレーザ装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2011-203707   出願人：株式会社東芝

引用文献：

出願人引用 (1件)

• Noise Suppression of Spectrum -Sliced Light Using Semiconductor Optical Amplifiers