特許
J-GLOBAL ID：201703010237995272
粒子センサ装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (4件)：
アインゼル・フェリックス=ラインハルト
, 前川 純一
, 二宮 浩康
, 上島 類
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2016-086286
公開番号（公開出願番号）：特開2016-224034
出願日： 2016年04月22日
公開日（公表日）： 2016年12月28日
要約：
【課題】放射される光ビームを集束領域に集束することにより、放射の弱い光放射装置を使用した場合であっても、集束領域における光ビームの強度を十分に大きくすることができる、粒子センサ装置を提供する。【解決手段】粒子56を有し得る体積体54を部分的に照射可能に設計された光放射装置50aを備え、一つの検出面64を備えた光検出装置50bをさらに備える。検出面64に粒子56において散乱された光ビーム60の一部分が当たり、検出面に当たる光ビーム60の強度及び/又は強度分布についての情報信号68を出力可能である。粒子センサ装置は評価装置70をさらに備え、粒子56の有無、粒子数、粒子密度、及び/又は、粒子56の特性についての情報を確定して出力可能である。粒子センサ装置は少なくとも一つのレンズ要素58を備え、放射された光ビーム52を体積体54内の集束領域60に集束可能に配置されている。【選択図】図2a
請求項（抜粋）：
粒子センサ装置であって、
当該粒子センサ装置は、光放射装置(50a)を備えており、前記光放射装置(50a)は、当該光放射装置(50a)の放射スペクトル内の光ビーム(52)を放射して、少なくとも一つの粒子(56)を内部に有し得る装置外部又は装置内部の体積体(54)に少なくとも部分的に、前記放射した光ビーム(52)を照射可能であるように設計されており、
前記粒子センサ装置はさらに、少なくとも一つの検出面(64)を有する光検出装置(50b)を備えており、前記少なくとも一つの検出面(64)は、前記光放射装置(50a)から放射されかつ前記少なくとも一つの粒子(56)において少なくとも部分的に散乱された光ビーム(62)が前記少なくとも一つの検出面(64)に入射するように配置されており、前記光検出装置(50b)は、前記少なくとも一つの検出面(64)に入射する前記光ビーム(62)の強度及び/又は強度分布についての少なくとも一つの情報信号(68)を出力するように設計されており、
前記粒子センサ装置は、評価装置(70)をさらに備えており、当該評価装置(70)を用い、前記少なくとも一つの情報信号(68)を考慮して、粒子(56)の有無、粒子数、粒子密度、及び/又は、粒子(56)の少なくとも一つの特性、についての情報(72)を確定して出力可能である、
粒子センサ装置において、
前記粒子センサ装置は、少なくとも一つのレンズ素子(58)を備えており、当該少なくとも一つのレンズ素子(58)は、前記放射された光ビーム(52)を、前記少なくとも一つのレンズ素子(58)によって前記体積体(54)内の集束領域(60)に集束可能であるように配置されている、
ことを特徴とする、粒子センサ装置。
IPC (1件)：
FI (1件)：
引用特許：
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