特許
J-GLOBAL ID：201703010325812706

Mn系強磁性薄膜およびその製造方法、ならびにMn系強磁性薄膜を有する磁気トンネル接合素子

発明者：
大兼 幹彦

大兼 幹彦 について

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安藤 康夫

安藤 康夫 について

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栗本 雄太

栗本 雄太 について

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渡部 健太

渡部 健太 について

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窪田 美穂

窪田 美穂 について


出願人/特許権者：
国立大学法人東北大学

国立大学法人東北大学 について


代理人 (2件)： 須田 篤 ,  楠 修二
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2016-067011
公開番号（公開出願番号）：特開2017-085076
出願日： 2016年03月30日
公開日（公表日）： 2017年05月18日
要約：
【課題】高い熱安定性と低い磁気緩和定数とを有し、容易かつ安定して製造することができる、Mn系強磁性薄膜およびその製造方法、ならびにそのMn系強磁性薄膜を有する磁気トンネル接合素子を提供する。【解決手段】Mn系強磁性薄膜は、Mnと、Alと、Co,Fe,Cr,NiおよびCuのうちのいずれか1つまたは2つ以上とを有し、L10型構造で、磁化容易軸が膜の表面に対して垂直に配向している。また、スパッタリングにより、MnAl合金層の表面に、Co,Fe,Cr,NiおよびCuのうちのいずれか1つまたは2つ以上を有する金属を成膜することにより製造される。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
Mnと、Alと、Co,Fe,Cr,NiおよびCuのうちのいずれか1つまたは2つ以上とを有することを特徴とするMn系強磁性薄膜。
IPC (11件)：
H01F 10/16 ,  H01L 29/82 ,  H01L 43/08 ,  H01L 43/10 ,  H01L 21/824 ,  H01L 27/105 ,  H01L 43/12 ,  H01F 41/18 ,  G01R 33/09 ,  H03B 15/00 ,  H01F 10/32
FI (10件)：
H01F10/16 ,  H01L29/82 Z ,  H01L43/08 M ,  H01L43/08 Z ,  H01L27/10 447 ,  H01L43/12 ,  H01F41/18 ,  G01R33/06 R ,  H03B15/00 ,  H01F10/32
Fターム (37件)：
2G017AD55 ,  4M119AA06 ,  4M119BB01 ,  4M119CC05 ,  4M119DD05 ,  4M119DD06 ,  4M119DD17 ,  4M119JJ03 ,  4M119JJ09 ,  5E049AA09 ,  5E049AA10 ,  5E049AC05 ,  5E049BA16 ,  5E049BA30 ,  5E049CB01 ,  5E049EB06 ,  5E049GC01 ,  5F092AA08 ,  5F092AB06 ,  5F092AC12 ,  5F092AD03 ,  5F092AD23 ,  5F092AD25 ,  5F092BB10 ,  5F092BB22 ,  5F092BB23 ,  5F092BB36 ,  5F092BB42 ,  5F092BB43 ,  5F092BB53 ,  5F092BC04 ,  5F092BC12 ,  5F092BC13 ,  5F092BE24 ,  5F092BE27 ,  5F092CA02 ,  5F092CA25
引用特許：
審査官引用 (13件)
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引用文献：
審査官引用 (1件)

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