特許
J-GLOBAL ID：201703010385424861
偏光検査装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (4件)：
棚井 澄雄
, 佐伯 義文
, 高橋 久典
, 沖田 壮男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2015-248976
公開番号（公開出願番号）：特開2017-116294
出願日： 2015年12月21日
公開日（公表日）： 2017年06月29日
要約：
【課題】小型、低コストであり、検査対象物の検査を短時間で行うことが可能な偏光検査装置を提供する。【解決手段】偏光検査装置1は、偏光状態が既知である照明光L10を検査対象物Fに照射する照射部10と、検査対象物Fから得られる光を偏光方向が異なる複数の光に空間的に分離する偏光分離部20と、偏光分離部20で分離された光を個別に受光する受光部30と、受光部30から出力される受光信号を用いて楕円方位角、偏光度、及び偏光成分強度の少なくとも1つを求めて検査対象物Fの良否判定を行う処理部40とを備える。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
検査対象物を介した光の偏光状態に基づいて前記検査対象物の検査を行う偏光検査装置において、
偏光状態が既知である光を前記検査対象物に照射する照射部と、
前記検査対象物から得られる光を偏光方向が異なる複数の光に空間的に分離する偏光分離部と、
前記偏光分離部で分離された光を個別に受光する受光部と、
前記受光部から出力される受光信号を用いて楕円方位角、偏光度、及び偏光成分強度の少なくとも1つを求めて前記検査対象物の良否判定を行う処理部と
を備えることを特徴とする偏光検査装置。
IPC (1件)：
FI (1件)：
Fターム (9件)：
2G051AA90
, 2G051AB02
, 2G051BA11
, 2G051BB07
, 2G051CA04
, 2G051CB02
, 2G051CC07
, 2G051DA05
, 2G051EB01
