特許
J-GLOBAL ID：201703010693980007
微細パターニング用表面化学処理装置
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
鹿島 義雄
公報種別：再公表公報
出願番号（国際出願番号）：JP2013053492
公開番号（公開出願番号）：WO2014-125591
出願日： 2013年02月14日
公開日（公表日）： 2014年08月21日
要約：
溶液(31)中に溶質(32)として溶解している分子の固相表面(1)への固定化の効率を向上させ、かつ、固相表面(1)での溶液(31)の広がりを確実に抑制して、固定化面積の微小化を可能とする微細パターニング用表面化学処理装置を提供する。本発明の装置は、一端が開口(11a)し、他端が液供給手段(14)に連通する第1の管路(11)と、その第1の管路(11)の開口(11a)の周りを囲むように一端が開口(12a)し、他端が液吸引手段(16)に連通する第2の管路(12)を備えるとともに、これらの第1、第2の管路(11,12)の開口(11a,12a)と、パターニング対象である固相表面(1)とを相対的に移動させる移動機構(21)を備えた構成とし、第1の管路(11)の開口(11a)からパターニング溶液(31)を吐出しながら、その周囲に存在する第2の管路(12)の開口(12a)からその溶液(31)を周囲の液相(2)もしくは気相とともに吸引することで、全方位への溶液(31)の滲みを防止し、微細パターンでの表面化学処理を可能とする。
請求項（抜粋）：
気相もくしは液相中に置かれた固相の表面に、所要パターンの化学的処理を施すための装置であって、
一端が開口し、他端が液供給手段に連通する第1の管路と、その第1の管路の開口の周りを囲むように一端が開口し、他端が液吸引手段に連通する第2の管路と、これらの第1と第2の管路の開口を上記気相もしくは液相中で上記固相の表面に対向させた状態で、当該各開口と固相とを相対的に移動させる移動機構を備え、
上記液供給手段から上記第1の管路内に上記固相表面と反応して当該表面を化学処理するためのパターニング溶液を供給して当該第1の管路の開口から吐出させつつ、上記液吸引手段の駆動により上記第2の管路の開口を通じて上記第1の管路の開口から吐出したパターニング溶液を上記気相もしくは液相とともに吸引しながら、上記第1と第2の管路の開口と上記固相とを相対移動させて所要パターンの化学的処理領域を形成することを特徴とする微細パターニング用表面化学処理装置。
IPC (3件)：
B05C 5/02
, B01J 19/00
, B05B 15/04
B05C5/02
, B01J19/00 D
, B01J19/00 321
, B05B15/04
4D073AA01
, 4D073BB03
, 4D073DB10
, 4D073DB21
, 4D073DC06
, 4D073DC08
, 4F041AA02
, 4F041AB01
, 4F041BA05
, 4F041BA12
, 4F041BA17
, 4F041BA34
, 4F041BA59
, 4G075AA30
, 4G075AA61
, 4G075BA10
, 4G075BD16
, 4G075CA51
, 4G075DA02
, 4G075EB01
, 4G075EC03
, 4G075FB01
