測定方法および測定プログラム

発明者： , , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：折坂茂樹
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2016-246802
公開番号（公開出願番号）：特開2017-151086
出願日： 2016年12月20日
公開日（公表日）： 2017年08月31日
要約：

【課題】湾曲している対象物の表面を自動的に精度良く測定することができる測定方法および測定プログラムを提供すること。【解決手段】本発明は、湾曲形状を有する対象物について測定ヘッドからの距離を測定して前記対象物の表面を測定する方法であって、対象物の測定範囲および凹凸の閾値を設定する工程と、対象物の湾曲形状を含む形状基準データを取得する工程と、測定範囲における対象物と測定ヘッドとの距離を測定して、対象物の表面の3次元データを取得する工程と、3次元データから形状基準データを除去して湾曲除去データを取得する工程と、湾曲除去データに基づき第1基準データを求め、第1基準データに対して閾値を超えるデータを湾曲除去データから除外して平均した第2基準データを求める工程と、第2基準データに対して閾値を超えるデータを抽出して凹凸の形状データを求める工程と、を備えたことを特徴とする。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

湾曲形状を有する対象物について測定ヘッドからの距離を測定して前記対象物の表面を測定する方法であって、前記対象物の測定範囲および凹凸の閾値を設定する工程と、前記対象物の湾曲形状を含む形状基準データを取得する工程と、前記測定範囲における前記対象物と前記測定ヘッドとの距離を測定して、前記対象物の表面の3次元データを取得する工程と、前記3次元データから前記形状基準データを除去して湾曲除去データを取得する工程と、前記湾曲除去データに基づき第1基準データを求め、前記第1基準データに対して前記閾値を超えるデータを前記湾曲除去データから除外して平均した第2基準データを求める工程と、前記第2基準データに対して前記閾値を超えるデータを前記湾曲除去データから抽出して凹凸の形状データを求める工程と、を備えたことを特徴とする測定方法。

IPC (5件)：

G01B 11/24 , G01B 11/30 , G01B 11/28 , G01B 11/02 , G01B 21/20

FI (6件)：

G01B11/24 A , G01B11/30 102G , G01B11/28 Z , G01B11/02 Z , G01B11/02 G , G01B21/20 C

Fターム (50件)：

2F065AA06 , 2F065AA22 , 2F065AA24 , 2F065AA50 , 2F065AA53 , 2F065AA58 , 2F065AA59 , 2F065BB08 , 2F065DD06 , 2F065EE12 , 2F065FF01 , 2F065FF04 , 2F065FF52 , 2F065GG02 , 2F065GG04 , 2F065GG07 , 2F065GG24 , 2F065HH03 , 2F065HH04 , 2F065JJ03 , 2F065JJ09 , 2F065JJ26 , 2F065LL12 , 2F065LL46 , 2F065PP02 , 2F065PP12 , 2F065QQ08 , 2F065QQ17 , 2F065QQ25 , 2F065QQ29 , 2F065QQ33 , 2F065QQ42 , 2F065RR05 , 2F065SS02 , 2F065SS13 , 2F069AA38 , 2F069AA43 , 2F069AA66 , 2F069AA74 , 2F069CC02 , 2F069DD15 , 2F069DD20 , 2F069EE23 , 2F069GG01 , 2F069GG04 , 2F069GG07 , 2F069GG62 , 2F069HH01 , 2F069HH09 , 2F069NN02

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