特許

J-GLOBAL ID：201703010914824790

保持テーブル

発明者： 波岡 伸一 ,  陳 曄
出願人/特許権者： 株式会社ディスコ
代理人 (2件)： 青木 宏義 ,  天田 昌行
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2016-010222
公開番号（公開出願番号）：特開2017-127945
出願日： 2016年01月22日
公開日（公表日）： 2017年07月27日
要約：

【課題】被加工物の浮き上がりを抑制すること。【解決手段】保持テーブル(20)は、中央に四角形の配線領域(W1)と外周に配線領域を囲繞する余剰領域(W2)とを備える可撓性の矩形の被加工物(W)を吸引保持するものである。保持テーブルは、被加工物の配線領域を吸引保持する吸引盤(21)と、吸引盤で吸引保持される被加工物の余剰領域の外周縁を挟持し保持面より下に押し下げる押下げ部と、保持面方向における吸引盤の外周と押下げ部との境で余剰領域を吸引するベース(22)と、を備える。【選択図】図5

請求項（抜粋）：

中央に四角形の配線領域と外周に該配線領域を囲繞する余剰領域とを備える可撓性の矩形の被加工物を保持する保持テーブルであって、 被加工物の該配線領域を吸引保持する四角形の保持面を有する第1の吸引保持部と、 該第1の吸引保持部で吸引保持される被加工物の該余剰領域の外周縁を挟持し該保持面より下に押し下げる押下げ部と、 該保持面方向における該第1の吸引保持部の外周と該押下げ部との境で該余剰領域を吸引する第2の吸引保持部と、を備える保持テーブル。

IPC (3件)：

B23Q 3/08 ,  B23Q 3/10 ,  H01L 21/683

FI (3件)：

B23Q3/08 A ,  B23Q3/10 ,  H01L21/68 P

Fターム (17件)：

3C016DA05 ,  3C016EA00 ,  5F131AA10 ,  5F131AA12 ,  5F131AA13 ,  5F131AA23 ,  5F131BA32 ,  5F131CA07 ,  5F131CA09 ,  5F131CA18 ,  5F131CA33 ,  5F131CA42 ,  5F131EA05 ,  5F131EA22 ,  5F131EB01 ,  5F131EB05 ,  5F131EB36

引用特許：

審査官引用 (2件)

• ウェーハの接着方法及び接着装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-050916   出願人：不二越機械工業株式会社
• 保持装置および保持方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2013-224673   出願人：東京応化工業株式会社