特許

J-GLOBAL ID：201703011140354155

ステージ装置およびそれを用いた荷電粒子線装置

発明者： 西岡 明 ,  水落 真樹 ,  中川 周一 ,  牧 信行
出願人/特許権者： 株式会社日立ハイテクノロジーズ
代理人 (3件)： 井上 学 ,  戸田 裕二 ,  岩崎 重美
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2014-033536
公開番号（公開出願番号）：特開2017-098273
出願日： 2014年02月25日
公開日（公表日）： 2017年06月01日
要約：

【課題】 本発明は、リニアモータの発熱による温度上昇で生じるステージの熱変形を効果的に抑制するステージ装置およびそれを用いた荷電粒子線装置の提供を目的とする。【解決手段】 上記目的を達成するために、テーブル(2)とテーブルを所定の方向に駆動するリニアモータ(5、6)を備えたステージ装置であって、テーブルと前記リニアモータの可動子を部品(8、10)によって接続し、部品10にはスライドユニット(16)を取り付けてベースに固定されたレールで移動を拘束し、同時に、そのスライドユニットは部品(8)がテーブルと接合している箇所の垂直下部に配置することで、テーブルの熱変形を抑制する。【選択図】 図1

請求項（抜粋）：

試料を載置するための第1のテーブルと、当該第1のテーブルを第1の方向に移動させる第1の駆動機構と、前記第1のテーブルを載置するための第2のテーブルと、当該第2のテーブルを第2の方向に移動させる第2の駆動機構を備えたステージ装置において、 前記第2のテーブルを前記第2の方向に案内するレールと、当該レール上を移動するスライドユニットと、前記第2のテーブルと前記第2の駆動機構間に介在する接続部材とを備え、当該接続部材と前記スライドユニットは、前記第1の方向及び前記第2の方向に直交する第3の方向に延びる仮想直線が通過するように配列されることを特徴とするステージ装置。

IPC (3件)：

H01L 21/68 ,  H01J 37/20 ,  H01L 21/027

FI (3件)：

H01L21/68 K ,  H01J37/20 D ,  H01L21/30 541L

Fターム (22件)：

5C001AA03 ,  5C001CC04 ,  5C001DD02 ,  5F056EA14 ,  5F131AA02 ,  5F131BA39 ,  5F131CA02 ,  5F131CA08 ,  5F131CA18 ,  5F131DA33 ,  5F131DA42 ,  5F131DB86 ,  5F131DB87 ,  5F131EA02 ,  5F131EA22 ,  5F131EA27 ,  5F131EB78 ,  5F131FA17 ,  5F131FA26 ,  5F131KA16 ,  5F131KB12 ,  5F131KB32