研磨パッド

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：藤本昇 , 中谷寛昭
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-268002
公開番号（公開出願番号）：特開2014-113648
特許番号：特許第6074245号
出願日： 2012年12月07日
公開日（公表日）： 2014年06月26日
請求項（抜粋）：

【請求項1】上面に研磨面を有する上層シートと、前記上層シートの下面側に積層された下層シートとを備え、前記上層シートの周端縁は前記下層シートの周端縁よりも外側へ突出するように構成され、前記下層シートの側面の全面において前記下層シートの材質が現れている研磨パッドであって、最外周に段差構造を有し、前記上層シートが外側に突出していることにより前記段差構造が構成されていることを特徴とする研磨パッド。

IPC (2件)：