特許

J-GLOBAL ID：201703011312940299

ボンディングキャピラリ

発明者： 岡 総一郎 ,  大西 惇平 ,  石塚 祐司 ,  本村 研一
出願人/特許権者： TOTO株式会社
代理人 (1件)： 日向寺 雅彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2016-018954
公開番号（公開出願番号）：特開2017-017306
出願日： 2016年02月03日
公開日（公表日）： 2017年01月19日
要約：

【課題】接合強度を向上させ、ワイヤの分断性を向上させ、摩耗を抑制することができるボンディングキャピラリを提供することを目的とする。【解決手段】ワイヤが挿通される挿通孔と、前記ワイヤを押圧する第1の押圧面であって、前記挿通孔の周囲に設けられ前記挿通孔が延在する方向に対して傾斜した第1の傾斜面を有する第1の押圧面と、前記ワイヤを押圧する第2の押圧面であって、前記第1の傾斜面と前記挿通孔との間に設けられテーパ形状を有するテーパ面と、前記テーパ面と前記第1の傾斜面との間に設けられた第2の傾斜面と、を有する第2の押圧面と、を有する本体部を備え、前記第2の傾斜面の粗さ曲線要素の二乗平均平方根傾斜は、前記第1の傾斜面の粗さ曲線要素の二乗平均平方根傾斜よりも小さいことを特徴とするボンディングキャピラリが提供される。【選択図】図3

請求項（抜粋）：

ワイヤが挿通される挿通孔と、 前記ワイヤを押圧する第1の押圧面であって、前記挿通孔の周囲に設けられ前記挿通孔が延在する軸方向に対して傾斜した第1の傾斜面を有する第1の押圧面と、 前記ワイヤを押圧する第2の押圧面であって、前記第1の傾斜面と前記挿通孔との間に設けられテーパ形状を有するテーパ面と、前記テーパ面と前記第1の傾斜面との間に設けられた第2の傾斜面と、を有する第2の押圧面と、 を有する本体部を備え、 前記第2の傾斜面の粗さ曲線要素の二乗平均平方根傾斜は、前記第1の傾斜面の粗さ曲線要素の二乗平均平方根傾斜よりも小さいことを特徴とするボンディングキャピラリ。

IPC (1件)：

H01L 21/60

FI (1件)：

H01L21/60 301G

Fターム (3件)：

5F044AA01 ,  5F044BB01 ,  5F044FF06

引用特許：

出願人引用 (3件)

• ボンディングキャピラリ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2013-126818   出願人：TOTO株式会社
• 特開平2-074051
  
• 仕上げが改善されたボンディングツール
  公報種別：公表公報   出願番号：特願2009-530712   出願人：クリックアンドソッファインダストリーズインク.

審査官引用 (2件)

• ボンディングキャピラリ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2013-126818   出願人：TOTO株式会社
• 特開平2-074051