特許
J-GLOBAL ID:201703011588646351
レーザ照射装置
発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (2件):
太田 昌孝
, 米田 潤三
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2016-053890
公開番号(公開出願番号):特開2017-168729
出願日: 2016年03月17日
公開日(公表日): 2017年09月21日
要約:
【課題】レーザ光源から照射されたレーザ光の強度分布を低減して均一な強度で照射することを可能とするレーザ照射装置を提供する。【解決手段】レーザ照射装置を、レーザ光源と、このレーザ光源から出射されたレーザ光を受光する回折光学素子を基準光軸上に備えるものとし、回折光学素子に入射するレーザ光の入射方位が変化するように構成する。【選択図】 図1
請求項(抜粋):
レーザ光源と、該レーザ光源から出射されたレーザ光を受光する回折光学素子を基準光軸上に備え、該回折光学素子に入射するレーザ光の入射方位が変化することを特徴とするレーザ照射装置。
IPC (6件):
H01S 3/00
, G02B 5/18
, B23K 26/073
, B23K 26/067
, G02B 19/00
, G02B 27/48
FI (6件):
H01S3/00 B
, G02B5/18
, B23K26/073
, B23K26/067
, G02B19/00
, G02B27/48
Fターム (20件):
2H052BA02
, 2H052BA09
, 2H052BA12
, 2H249AA02
, 2H249AA03
, 2H249AA25
, 2H249AA34
, 2H249AA64
, 2H249CA09
, 2H249CA16
, 4E168CB18
, 4E168DA02
, 4E168DA03
, 4E168DA04
, 4E168DA26
, 4E168DA37
, 4E168EA05
, 5F172NR02
, 5F172NR12
, 5F172ZZ01
引用特許:
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