特許
J-GLOBAL ID:201703011695642202
p型ZnO系半導体単結晶層、及び、ZnO系半導体素子
発明者:
,
,
出願人/特許権者:
代理人 (2件):
高橋 敬四郎
, 鵜飼 伸一
公報種別:特許公報
出願番号(国際出願番号):特願2013-024013
公開番号(公開出願番号):特開2014-041992
特許番号:特許第6092648号
出願日: 2013年02月12日
公開日(公表日): 2014年03月06日
請求項(抜粋):
【請求項1】 (i)Cuまたは/及びAgであるIB族元素と、(ii)B、Ga、Al、及びInからなる群より選択される一以上のIIIB族元素とが共ドープされたp型ZnO系半導体単結晶層であって、
前記IB族元素の濃度[IB]と、前記IIIB族元素の濃度[IIIB]とが、0.9≦[IB]/[IIIB]<100を満たし、かつ、[IB]が8.0×1019/cm3以上、[IIIB]が3.2×1019/cm3以上であるp型ZnO系半導体単結晶層。
IPC (2件):
H01L 21/363 ( 200 6.01)
, C23C 14/08 ( 200 6.01)
FI (2件):
H01L 21/363
, C23C 14/08 C
引用特許:
出願人引用 (2件)
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半導体素子
公報種別:公開公報
出願番号:特願2008-242679
出願人:ローム株式会社, 国立大学法人東北大学
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p型MgZnO系薄膜及び半導体発光素子
公報種別:公開公報
出願番号:特願2007-206998
出願人:ローム株式会社, 国立大学法人東北大学
審査官引用 (2件)
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半導体素子
公報種別:公開公報
出願番号:特願2008-242679
出願人:ローム株式会社, 国立大学法人東北大学
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p型MgZnO系薄膜及び半導体発光素子
公報種別:公開公報
出願番号:特願2007-206998
出願人:ローム株式会社, 国立大学法人東北大学
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