特許

J-GLOBAL ID：201703011878889762

光電変換装置の製造方法

発明者： 稲井 誠一郎 ,  加藤 敬 ,  荒浪 順次
出願人/特許権者： 京セラ株式会社
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-256253
公開番号（公開出願番号）：特開2015-115454
特許番号：特許第6162592号
出願日： 2013年12月11日
公開日（公表日）： 2015年06月22日
請求項（抜粋）：

【請求項1】 金属元素に有機カルコゲン化合物が配位した金属錯体が有機溶媒に溶解された原料溶液を用意する第1工程と、 電極層上に前記原料溶液を塗布することによって第1皮膜を形成した後、該第1皮膜を第1温度で加熱して前記第1皮膜に含まれる前記有機カルコゲン化合物の有機成分を熱分解除去することによって第1熱分解膜を形成する第2工程と、 該第2工程を1回以上繰り返して前記電極層上に前記第1熱分解膜の積層体を作製する第3工程と、 前記積層体上に前記原料溶液を塗布することによって第2皮膜を形成した後、該第2皮膜を前記第1温度よりも高い第2温度で加熱して前記第2皮膜に含まれる前記有機カルコゲン化合物の有機成分を熱分解除去することによって第2熱分解膜を形成する第4工程と、前記積層体および前記第2熱分解膜をカルコゲン元素を含む雰囲気で加熱することによって金属カルコゲナイドを含む半導体層にする第5工程と を具備する光電変換装置の製造方法。

IPC (2件)：

H01L 31/0749 ( 201 2.01) ,  H01L 31/18 ( 200 6.01)

FI (2件)：

H01L 31/06 460 ,  H01L 31/04 422

引用特許：

出願人引用 (2件)

• 光電変換装置の製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2012-141053   出願人：京セラ株式会社
• 太陽電池の製造方法および太陽電池
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2012-073810   出願人：旭硝子株式会社