化合物、有機膜組成物、有機膜、およびパターン形成方法

発明者： , , , , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：八田国際特許業務法人
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2016-119307
公開番号（公開出願番号）：特開2017-014191
出願日： 2016年06月15日
公開日（公表日）： 2017年01月19日
要約：

【課題】本発明は、スピンオンコーティング法で作製した場合においても、優れた耐エッチング性および耐熱性の少なくとも一方に優れる有機膜を提供する化合物、前記化合物を含む有機膜組成物、前記有機膜組成物から製造された有機膜、および前記有機膜組成物を用いたパターン形成方法を提供する。【解決手段】本発明の一実施形態に係る化合物は、下記の化学式1で表される。下記化学式1の定義は、明細書中の定義と同義である。【選択図】なし

請求項（抜粋）：

下記の化学式1で表される化合物:

IPC (11件)：

C07D 209/14 , G03F 7/11 , G03F 7/26 , G03F 7/16 , C07D 209/58 , C07D 209/86 , C07D 311/82 , C07D 333/54 , C07D 333/56 , C08G 12/26 , H01L 21/027

FI (11件)：

C07D209/14 , G03F7/11 503 , G03F7/26 511 , G03F7/16 , C07D209/58 , C07D209/86 , C07D311/82 , C07D333/54 , C07D333/56 , C08G12/26 , H01L21/30 573

Fターム (42件)：

2H196AA25 , 2H196CA05 , 2H196CA14 , 2H196KA18 , 2H225AM79N , 2H225AN11N , 2H225AN25N , 2H225AN26N , 2H225AN28N , 2H225AN39N , 2H225AN57N , 2H225AN82N , 2H225AN89N , 2H225BA01N , 2H225CA12 , 4C062HH21 , 4C204AB20 , 4C204BB09 , 4C204BB10 , 4C204CB03 , 4C204CB12 , 4C204CB25 , 4C204DB01 , 4C204DB13 , 4C204DB15 , 4C204EB01 , 4C204EB02 , 4C204FB01 , 4C204GB01 , 4C204GB13 , 4C204GB14 , 4J033EA05 , 4J033EA33 , 4J033EA51 , 4J033EB21 , 4J033EC05 , 4J033EC08 , 4J033HA02 , 4J033HA09 , 4J033HB10 , 5F146NA01 , 5F146NA17

引用特許：

審査官引用 (2件)

特開平1-085975
特開昭53-055222

引用文献：

審査官引用 (1件)

Journal of Organic Chemistry, 1999, 64(21), 7890-7901

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