特許

J-GLOBAL ID：201703012106901763

応力センサ

発明者： 上野 涼 ,  永田 優
出願人/特許権者： 京セラ株式会社
代理人 (3件)： 杉村 憲司 ,  大倉 昭人 ,  太田 昌宏
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2016-072681
公開番号（公開出願番号）：特開2017-181436
出願日： 2016年03月31日
公開日（公表日）： 2017年10月05日
要約：

【課題】検出能力を向上する。【解決手段】応力センサ1は、ダイヤフラム10と、ダイヤフラム10の面上に配置された感応膜20と、ダイヤフラム10上に配置されたピエゾ抵抗素子40,41と、を備え、ダイヤフラム10において、ピエゾ抵抗素子40,41が配置された領域を含む配置領域Bの厚さは、配置領域B以外の他の領域の厚みよりも小さい。【選択図】図2

請求項（抜粋）：

ダイヤフラムと、 前記ダイヤフラムの面上に配置された感応膜と、 前記ダイヤフラム上に配置された検出部と、を備え、 前記ダイヤフラムにおいて、前記検出部が配置された領域を含む配置領域の厚さは、該配置領域以外の他の領域の厚みよりも小さい、応力センサ。

IPC (2件)：

G01L 1/18 ,  G01N 5/02

FI (2件)：

G01L1/18 A ,  G01N5/02 Z

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 特開平3-028741
  
• 特開昭55-077178
  
• 特開昭63-155774