特許

J-GLOBAL ID：201703012140981539

弾性波装置

発明者： 中川 亮 ,  木間 智裕 ,  坪川 雅
出願人/特許権者： 株式会社村田製作所
代理人 (1件)： 特許業務法人 宮▲崎▼・目次特許事務所
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2016-098395
公開番号（公開出願番号）：特開2017-208629
出願日： 2016年05月17日
公開日（公表日）： 2017年11月24日
要約：

【課題】十分な拡散防止効果を有する弾性波装置を提供する。【解決手段】弾性波装置1は、圧電体層を有する基板2上にIDT電極3が形成されており、IDT電極3は、Pt膜5と、Pt膜5上に積層されているTi膜6と、Ti膜6上に積層されている、Alを主体とする金属膜7(Al合金膜または、AlCu合金膜)とを含む。Ti膜6が、X線回折極点図において観測されるTi(200)面が3回回転対称または6回回転対称のピークを有している準単結晶状態である。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

圧電体層を有する基板と、 前記圧電体層上に形成されたIDT電極とを備え、 前記IDT電極は、Pt膜と、前記Pt膜上に積層されているTi膜と、前記Ti膜上に積層されている、Alを主体とする金属膜と、を含み、 前記Ti膜が、準単結晶状態である、弾性波装置。

IPC (1件)：

H03H 9/145

FI (1件)：

H03H9/145 C

Fターム (7件)：

5J097AA24 ,  5J097BB01 ,  5J097BB11 ,  5J097FF03 ,  5J097HA02 ,  5J097KK01 ,  5J097KK09