特許

J-GLOBAL ID：201703012243187431

振動素子の製造方法

発明者： 志村 匡史
出願人/特許権者： セイコーエプソン株式会社
代理人 (3件)： 渡辺 和昭 ,  西田 圭介 ,  仲井 智至
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2016-097688
公開番号（公開出願番号）：特開2017-207283
出願日： 2016年05月16日
公開日（公表日）： 2017年11月24日
要約：

【課題】互いに反対方向に延出している2つの振動腕を有する振動素子の素子ごとの特性のバラツキを低減することができる振動素子の製造方法を提供すること。【解決手段】 基部から延出している第1振動腕に第1錘膜を形成し、前記基部から前記第1振動腕とは反対方向に延出している第2振動腕に第2錘膜を形成する錘膜形成工程と、前記第1錘膜および前記第2錘膜のそれぞれの一部を除去して、前記第1錘膜および前記第2錘膜のそれぞれの平面視での面積を調整する錘膜調整工程と、を有することを特徴とする振動素子の製造方法。【選択図】図5

請求項（抜粋）：

基部から延出している第1振動腕に第1錘膜を形成し、前記基部から前記第1振動腕とは反対方向に延出している第2振動腕に第2錘膜を形成する錘膜形成工程と、 前記第1錘膜および前記第2錘膜のそれぞれの一部を除去して、前記第1錘膜および前記第2錘膜のそれぞれの平面視での面積を調整する錘膜調整工程と、を有することを特徴とする振動素子の製造方法。

IPC (1件)：

G01C 19/562

FI (1件)：

G01C19/5628

Fターム (4件)：

2F105BB07 ,  2F105CC01 ,  2F105CD02 ,  2F105CD06