特許

J-GLOBAL ID：201703012354704427

圧力センサおよびその製造方法

発明者： 大矢 晃示 ,  作田 拓也
出願人/特許権者： 株式会社デンソー
代理人 (1件)： 特許業務法人ゆうあい特許事務所
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2016-027160
公開番号（公開出願番号）：特開2017-146163
出願日： 2016年02月16日
公開日（公表日）： 2017年08月24日
要約：

【課題】金属ステムに対するセンサチップの実装ズレを抑制し、センサ感度や温度特性のズレを抑制できるようにする。【解決手段】金属ステム10におけるダイヤフラム面10aを親液性領域10bと撥液性領域10cとに区画する。これにより、液体化した接合ガラス50は親液性領域10bにのみ濡れ、撥液性領域10cには殆ど濡れ広がらない状態となる。したがって、ダイヤフラム11の上における所望位置に、実装ズレすることなく的確にセンサチップ40が接合される。【選択図】図3

請求項（抜粋）：

印加される圧力に応じた電気出力を発生させる圧力センサであって、 圧力検出用のダイヤフラム(11)を有する金属ステム(10)と、 前記ダイヤフラム上に配置された接合材(50)と、 前記ダイヤフラム上に前記接合材を介して接合され、前記ダイヤフラムの歪みに応じた電気出力を発生する歪検出素子(41)が形成されたセンサチップ(40)と、を備え、 前記金属ステムにおける前記ダイヤフラムを構成する一面をダイヤフラム面(10a)として、該ダイヤフラム面のうち前記センサチップが配置される位置は前記接合材が濡れる親液性領域(10b)とされており、前記センサチップが配置される位置よりも外側は前記親液性領域よりも前記接合材が濡れにくい撥液性領域(10c)とされている圧力センサ。

IPC (2件)：

G01L 9/00 ,  H01L 29/84

FI (3件)：

G01L9/00 303K ,  H01L29/84 B ,  H01L29/84 A

Fターム (24件)：

2F055BB20 ,  2F055CC02 ,  2F055DD01 ,  2F055DD05 ,  2F055EE14 ,  2F055FF01 ,  2F055FF11 ,  2F055GG13 ,  4M112AA01 ,  4M112BA01 ,  4M112CA01 ,  4M112CA03 ,  4M112CA04 ,  4M112CA09 ,  4M112CA12 ,  4M112CA15 ,  4M112DA02 ,  4M112DA18 ,  4M112EA03 ,  4M112EA13 ,  4M112FA01 ,  4M112FA05 ,  4M112FA20 ,  4M112GA01