特許
J-GLOBAL ID:201703012387027676
成膜装置および成膜方法
発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (2件):
加島 広基
, 高村 雅晴
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2016-082780
公開番号(公開出願番号):特開2017-193058
出願日: 2016年04月18日
公開日(公表日): 2017年10月26日
要約:
【課題】押出部の内部の形状を変更することなく当該押出部から押し出されたシート状の溶融された樹脂の両端部が膨らんでしまうことを十分に抑制することができる成膜装置および成膜方法を提供する。【解決手段】成膜装置10は、溶融された樹脂を押し出す押出部12と、押出部12から押し出された、シート状の溶融された樹脂が巻かれるロール20とを備えており、押出部12から押し出された、シート状の溶融された樹脂は、ロール20の外周面における周方向の一部の領域に巻かれるようになっている。また、ロール20は、その軸方向における両端部の直径が最も大きくなるような構成となっている。【選択図】図2
請求項(抜粋):
溶融された樹脂を押し出す押出部と、
前記押出部から押し出された、シート状の溶融された樹脂が巻かれるロールと、
を備え、
前記押出部から押し出された、シート状の溶融された樹脂は、前記ロールの外周面における周方向の一部の領域に巻かれるようになっており、
前記ロールは、その軸方向における両端部の直径が最も大きくなるような構成となっている、成膜装置。
IPC (3件):
B29C 47/88
, B29C 47/14
, B29C 47/90
FI (3件):
B29C47/88
, B29C47/14
, B29C47/90
Fターム (6件):
4F207AG01
, 4F207AR12
, 4F207KA01
, 4F207KK64
, 4F207KK65
, 4F207KL59
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