特許
J-GLOBAL ID:201703012461516099
光量測定装置
発明者:
,
出願人/特許権者:
,
代理人 (1件):
特許業務法人 エビス国際特許事務所
公報種別:再公表公報
出願番号(国際出願番号):JP2012084100
公開番号(公開出願番号):WO2014-103022
出願日: 2012年12月28日
公開日(公表日): 2014年07月03日
要約:
簡単な構成で効率的かつ、実装された状態に近い高精度な測定を実現できる光量測定装置を提供する。 光量測定装置1は、放射状に光を発光するLED101を載置するテーブル10と、LED101の端子102に接触し電力を供給して、LED101を発光させるプローブ20と、LED101から発光された光を受光し、その光量を測定するフォトディテクタ30とを有し、プローブ20がテーブル10に対して近接および離間する方向に移動可能に形成されており、プローブ20がテーブル10に対して近接する方向に移動することによって、プローブ10は端子102に接触し、フォトディテクタ30における測定は、プローブ20をテーブル10に向けて移動させた移動量に対して端子102からプローブ20が受ける反力が飽和状態となった領域で行われる。
請求項(抜粋):
放射状に光を発光する半導体発光素子を載置するテーブルと、
前記半導体発光素子の端子に接触し電力を供給して、前記半導体発光素子を発光させるプローブと、
前記半導体発光素子から発光された光を受光し、その光量を測定する受光部と、
を有し、
前記プローブは、前記テーブルに対して近接および離間する方向に移動可能に形成されており、
前記プローブが前記テーブルに対して近接する方向に移動することによって、前記プローブは前記端子に接触し、
前記受光部における測定は、前記プローブを前記テーブルに向けて移動させた移動量に対して前記端子から前記プローブが受ける反力が飽和状態となった領域で行われる
光量測定装置。
IPC (6件):
G01M 11/00
, G01J 1/00
, G01R 31/26
, G01R 1/067
, H01L 21/66
, H01L 33/00
FI (7件):
G01M11/00 T
, G01J1/00 C
, G01R31/26 F
, G01R31/26 J
, G01R1/067 G
, H01L21/66 B
, H01L33/00 K
Fターム (31件):
2G003AA06
, 2G003AG03
, 2G003AG12
, 2G003AG20
, 2G003AH07
, 2G011AA02
, 2G011AB01
, 2G011AB08
, 2G011AC06
, 2G011AE22
, 2G011AF01
, 2G065AA04
, 2G065AA11
, 2G065AA13
, 2G065AB28
, 2G065BA02
, 2G065BB02
, 2G065BB11
, 2G065BB28
, 2G065DA05
, 2G086EE03
, 4M106AA02
, 4M106BA01
, 4M106CA19
, 4M106CA21
, 4M106DD03
, 4M106DD09
, 4M106DH12
, 4M106DJ01
, 5F141AA46
, 5F241AA46
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