特許
J-GLOBAL ID：201703012514334931
デュアルコム分光法を用いた偏光計測装置及び偏光計測方法
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：
伊東 忠重
, 伊東 忠彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2016-017537
公開番号（公開出願番号）：特開2017-138129
出願日： 2016年02月01日
公開日（公表日）： 2017年08月10日
要約：
【課題】 デュアルコム分光法を用いた高速かつ高精度の偏光計測を実現する。【解決手段】 デュアルコム分光法を用いた偏光計測装置は、第1の繰り返し周波数を有する第1の光周波数コム光源と、第2の繰り返し周波数を有する第2の光周波数コム光源と、前記第1の光周波数コム光源の光路上で試料の出射側に配置され偏光状態を周期的に変調する変調素子と、前記変調素子を、前記第1の光周波数コム光源と前記第2の光周波数コム光源の繰り返し周波数差の分数倍の周波数で偏光変調する手段と、前記第1の光周波数コム光源から出力されて前記試料及び前記変調素子を透過する光と前記第2の光周波数コム光源から出力される光の干渉光を検出する検出器と、前記干渉光に基づいて前記試料を透過した光の偏光状態を計測する解析装置と、を有する。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
第1の繰り返し周波数を有する第1の光周波数コム光源と、
第2の繰り返し周波数を有する第2の光周波数コム光源と、
前記第1の光周波数コム光源の光路上で試料の出射側に配置され、偏光状態を周期的に変調する変調素子と、
前記変調素子を、前記第1の光周波数コム光源と前記第2の光周波数コム光源の繰り返し周波数差の分数倍の周波数で偏光変調する手段と、
前記第1の光周波数コム光源から出力されて前記試料及び前記変調素子を透過する光と、前記第2の光周波数コム光源から出力される光の干渉光を検出する検出器と、
前記干渉光に基づいて前記試料を透過した光の偏光状態を計測する解析装置と、
を有することを特徴とする偏光計測装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
Fターム (13件)：
2G059AA02
, 2G059BB12
, 2G059EE01
, 2G059EE05
, 2G059EE09
, 2G059EE12
, 2G059FF05
, 2G059GG01
, 2G059GG08
, 2G059HH01
, 2G059JJ19
, 2G059JJ20
, 2G059MM01
