特許

J-GLOBAL ID：201703012544671096

検査装置および物品製造方法

発明者： 植村 卓典
出願人/特許権者： キヤノン株式会社
代理人 (2件)： 阿部 琢磨 ,  黒岩 創吾
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2015-194024
公開番号（公開出願番号）：特開2017-067633
出願日： 2015年09月30日
公開日（公表日）： 2017年04月06日
要約：

【課題】 多様な欠陥の検査に有利な検査装置を提供すること【解決手段】 物体を検査する検査装置(10)は、物体に対して異方性の照明と等方性の照明とを行う照明部(101)と、照明部により照明された物体を撮像する撮像部(102)と、撮像部により得られた画像に基づいて物体の検査のための処理を行う処理部(103)と、を含む。処理部は、照明部により複数の異方性の照明が行われて撮像部によりそれぞれ得られた複数の第1画像と、照明部により等方性の照明が行われて撮像部により得られた第2画像とに基づいて検査画像を生成し、当該検査画像に基づいて当該処理を行う。【選択図】 図1

請求項（抜粋）：

物体を検査する検査装置であって、 前記物体に対して異方性の照明と等方性の照明とを行う照明部と、 前記照明部により照明された前記物体を撮像する撮像部と、 前記撮像部により得られた画像に基づいて前記物体の検査のための処理を行う処理部と、を含み、 前記処理部は、前記照明部により複数の前記異方性の照明を行われて前記撮像部によりそれぞれ得られた複数の第1画像と、前記照明部により前記等方性の照明を行われて前記撮像部により得られた第2画像とに基づいて検査画像を生成し、該検査画像に基づいて前記処理を行うことを特徴とする検査装置。

IPC (2件)：

G01N 21/88 ,  G01B 11/30

FI (2件)：

G01N21/88 J ,  G01B11/30 A

Fターム (28件)：

2F065AA03 ,  2F065AA49 ,  2F065DD04 ,  2F065FF41 ,  2F065GG14 ,  2F065GG17 ,  2F065HH18 ,  2F065JJ03 ,  2F065JJ26 ,  2F065MM16 ,  2F065QQ21 ,  2F065QQ29 ,  2F065QQ34 ,  2F065QQ42 ,  2G051AA07 ,  2G051AB01 ,  2G051AB03 ,  2G051AB07 ,  2G051BA02 ,  2G051CA04 ,  2G051CB01 ,  2G051CB05 ,  2G051CD06 ,  2G051DA06 ,  2G051EA08 ,  2G051EA16 ,  2G051EC01 ,  2G051EC03