圧電素子、圧電アクチュエータおよびこれらの製造方法

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：福地武雄 , 白川洋一
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-273281
公開番号（公開出願番号）：特開2014-120553
特許番号：特許第6159985号
出願日： 2012年12月14日
公開日（公表日）： 2014年06月30日
請求項（抜粋）：

【請求項1】圧電層と内部電極層とが積層された圧電素子の製造方法であって、積層方向に貫通した中心軸上の孔を有する圧電層と内部電極層とが積層され一体焼成された矩形筒体の焼結体を作製する工程と、前記中心軸からの距離が小さい側面を未加工面として残し、前記焼結体を円筒加工する工程と、を含むことを特徴とする圧電素子の製造方法。

IPC (7件)：

H01L 41/047 ( 200 6.01) , H01L 41/083 ( 200 6.01) , H01L 41/09 ( 200 6.01) , H01L 41/273 ( 201 3.01) , H01L 41/312 ( 201 3.01) , H01L 41/335 ( 201 3.01) , H02N 2/00 ( 200 6.01)

FI (7件)：

H01L 41/047 , H01L 41/083 , H01L 41/09 , H01L 41/273 , H01L 41/312 , H01L 41/335 , H02N 2/00

引用特許：

出願人引用 (8件)

特開昭63-055986
特開昭62-291080
特開昭61-124183

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審査官引用 (3件)

特開昭63-055986
特開昭62-291080
特開昭61-124183

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