特許
J-GLOBAL ID：201703012739392264
色収差補正装置および電子顕微鏡
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：
布施 行夫
, 大渕 美千栄
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-270069
公開番号（公開出願番号）：特開2014-116219
特許番号：特許第6054730号
出願日： 2012年12月11日
公開日（公表日）： 2014年06月26日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 電子顕微鏡用の色収差補正装置であって、
第1の電磁場を発生させる第1多極子と、
第2の電磁場を発生させる第2多極子と、
を含み、
前記第1多極子と前記第2多極子は、光軸に沿った方向に互いに離隔して配置され、
前記第1多極子は、前記光軸に沿って配置されている第1部分、第2部分、および第3部分を有し、
前記第1部分、前記第2部分、および前記第3部分の各々は、電子線の進行方向に対して厚みを有し、電場四極子場と磁場四極子場とを重畳した四極子場を発生させ、
前記第1部分は、磁場四極子場に比べて電場四極子場が強く設定され、
前記第2部分は、電場四極子場に比べて磁場四極子場が強く設定され、
前記第3部分は、磁場四極子場に比べて電場四極子場が強く設定され、
前記第2部分で発生する二回非点成分は、前記第1部分および前記第3部分で発生する二回非点成分と逆符号であり、
前記第1部分、前記第2部分、前記第3部分それぞれにおいて、電場四極子場によって電子線が受ける力と磁場四極子場によって電子線が受ける力とが、互いに相殺する方向に加えられ、
前記第2の電磁場は、前記第1の電磁場を前記光軸まわりに90°回転させた場である、色収差補正装置。
IPC (1件)：
FI (1件)：
引用特許：
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