特許
J-GLOBAL ID：201703012757025562

成膜方法

発明者：
齋藤 誠

齋藤 誠 について

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平松 範之

平松 範之 について

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福島 明

福島 明 について


出願人/特許権者：
三菱重工業株式会社

三菱重工業株式会社 について


代理人 (2件)： 工藤 実 ,  中尾 圭策
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-030404
公開番号（公開出願番号）：特開2014-159613
特許番号：特許第6066760号
出願日： 2013年02月19日
公開日（公表日）： 2014年09月04日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 ロケットエンジンの燃焼室の製造方法であって、 前記燃焼室は、同心円状に配置された内筒と外筒とを備え、 前記内筒と前記外筒との間には冷却流路が形成されており、 前記外筒は、 前記内筒側に形成された第1層と、 前記第1層の外側の表面に形成された第2層と を備え、 前記製造方法は、 前記内筒の表面に複数の溝を形成する工程と、 前記複数の溝に充填材を充填する工程と、 前記充填材及び前記内筒の露出面に電鋳法により前記第1層として導電層を形成する工程と、 前記第1層上に金属膜としての前記第2層を成膜するように単位成膜処理を実行する工程と、 前記第2層の膜厚が所望の最終膜厚になっていないとき前記単位成膜処理を繰り返す工程と、 前記第2層の膜厚が前記所望の最終膜厚になったとき、前記燃焼室に熱処理を実行する工程と、 前記第1層が形成された後、前記熱処理が施される前に、前記充填剤を除去する工程と を備え、 前記単位成膜処理を実行する工程は、 現在の前記単位成膜処理において成膜中の前記第2層の表面温度が、前記現在の単位成膜処理における成膜の終了時の前記第2層の表面温度に等しくなるように前記燃焼室をヒータで熱しながら、前記第2層の膜厚が前記現在の単位成膜処理における所望の膜厚になるようにコールドスプレー法により前記燃焼室に対して前記第2層としての前記金属膜の成膜を行うステップ を含む ロケットエンジンの燃焼室の製造方法。
IPC (1件)：
C23C 24/04 ( 200 6.01)
FI (1件)：
C23C 24/04
引用特許：
出願人引用 (4件)
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審査官引用 (4件)
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