特許
J-GLOBAL ID：201703012835043629

石英ガラスの製造装置およびその排ガス処理方法

発明者：
鈴木 智哉

鈴木 智哉 について


出願人/特許権者：
住友電気工業株式会社

住友電気工業株式会社 について


代理人 (1件)： 特許業務法人 信栄特許事務所
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2016-025765
公開番号（公開出願番号）：特開2017-145147
出願日： 2016年02月15日
公開日（公表日）： 2017年08月24日
要約：
【課題】集塵機から排出するガスを誘引する送風機の回転羽根への石英ガラス粒子の付着や堆積を防ぐ石英ガラスの製造装置及びその排ガス処理方法を提供する。【解決手段】石英ガラスを製造する反応容器と、該反応容器から排出される排ガス中の石英ガラス粒子Dを除去する排ガス処理部と、を備えた石英ガラスの製造装置であって、排ガス処理部は、集塵機と、集塵機の出口に接続されて、集塵機から排出される気流を誘引する送風機23と、を備え、送風機23は、回転羽根231と、回転羽根231の表面に向けて平均粒子径が1mm以下の水滴Mを噴射するノズル233と、を備える石英ガラスの製造装置。【選択図】図2
請求項（抜粋）：
石英ガラスを製造する反応容器と、該反応容器から排出される排ガス中の石英ガラス粒子を除去する排ガス処理部と、を備えた石英ガラスの製造装置であって、 前記排ガス処理部は、集塵機と、前記集塵機の出口に接続されて、前記集塵機から排出される気流を誘引する送風機と、を備え、 前記送風機は、回転羽根と、前記回転羽根の表面に向けて平均粒子径が1mm以下の水滴を噴射するノズルと、を備える、石英ガラスの製造装置。
IPC (2件)：
C03B 37/018 ,  C03B 8/04
FI (2件)：
C03B37/018 A ,  C03B8/04 Q
Fターム (4件)：
4G014AH19 ,  4G021EA01 ,  4G021EB22 ,  4G021EB26
引用特許：
審査官引用 (3件)
  • ガラス母材の製造方法
    公報種別：公開公報   出願番号：特願2003-406778   出願人：住友電気工業株式会社
  • 特開昭62-210029
  • 特開昭62-210029

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