特許

J-GLOBAL ID：201703012924191704

有機薄膜トランジスタの製造方法および有機薄膜トランジスタ

発明者： 前原 佳紀
出願人/特許権者： 富士フイルム株式会社
代理人 (4件)： 渡辺 望稔 ,  三和 晴子 ,  伊東 秀明 ,  三橋 史生
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2016-068254
公開番号（公開出願番号）：特開2017-183500
出願日： 2016年03月30日
公開日（公表日）： 2017年10月05日
要約：

【課題】ソース-ドレイン電極間を微細化しても、ソース-ドレイン電極の短絡を防止できる有機薄膜トランジスタの製造方法および有機薄膜トランジスタを提供する。【解決手段】金属層を形成する工程、金属層の一部を除去してソース-ドレイン電極を形成する電極形成工程を有し、かつ、ソース-ドレイン電極の形成において、レーザービーム走査によって金属層の一部を除去して、ソース電極とドレイン電極とを離間する第1の開口と、第1の開口と連通し、かつ、ソース-ドレイン電極間の距離L2が、第1の開口のソース-ドレイン電極間の距離L1よりも長い、第2の開口とを形成することにより、課題を解決する。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

基材、ゲート電極、ゲート絶縁層、有機半導体層、ならびに、ソース電極およびドレイン電極を有する有機薄膜トランジスタの製造方法であって、 前記ソース電極およびドレイン電極となる金属層を形成する工程と、前記金属層の一部を除去することにより、前記ソース電極およびドレイン電極を形成する電極形成工程と、を有し、かつ、 前記電極形成工程が、レーザービームを走査することによって前記金属層の一部を除去して、前記ソース電極とドレイン電極とを離間する第1の開口を形成する工程、および、 前記第1の開口による前記ソース電極とドレイン電極との離間方向と直交する方向に、複数、設けられる、前記第1の開口と連通し、かつ、前記ソース電極とドレイン電極との離間方向の距離L2が、前記第1の開口の前記ソース電極とドレイン電極との離間方向の距離L1よりも長い、第2の開口を形成する工程、を有することを特徴とする有機薄膜トランジスタの製造方法。

IPC (7件)：

H01L 29/786 ,  H01L 21/336 ,  H01L 51/05 ,  H01L 51/40 ,  H01L 21/28 ,  H01L 29/417 ,  B23K 26/351

FI (9件)：

H01L29/78 616T ,  H01L29/78 616K ,  H01L29/78 616U ,  H01L29/78 627C ,  H01L29/28 100A ,  H01L29/28 370 ,  H01L21/28 301B ,  H01L29/50 M ,  B23K26/351

Fターム (76件)：

4E168AD04 ,  4E168AD18 ,  4E168CB03 ,  4E168CB07 ,  4E168DA03 ,  4E168DA24 ,  4E168DA35 ,  4E168DA40 ,  4E168DA45 ,  4E168EA11 ,  4E168EA13 ,  4E168EA17 ,  4E168EA19 ,  4E168JA01 ,  4E168JA03 ,  4E168JA04 ,  4E168JA11 ,  4E168JA17 ,  4E168JA27 ,  4E168JA28 ,  4M104AA09 ,  4M104AA10 ,  4M104BB02 ,  4M104BB04 ,  4M104BB08 ,  4M104BB09 ,  4M104BB13 ,  4M104BB16 ,  4M104BB18 ,  4M104BB36 ,  4M104CC01 ,  4M104DD34 ,  4M104DD37 ,  4M104DD61 ,  4M104FF11 ,  4M104GG08 ,  4M104GG14 ,  4M104HH14 ,  5F110AA26 ,  5F110CC01 ,  5F110CC03 ,  5F110CC05 ,  5F110CC07 ,  5F110DD01 ,  5F110DD02 ,  5F110DD12 ,  5F110EE01 ,  5F110EE02 ,  5F110EE03 ,  5F110EE04 ,  5F110EE06 ,  5F110EE07 ,  5F110EE14 ,  5F110EE44 ,  5F110FF01 ,  5F110FF02 ,  5F110FF03 ,  5F110FF04 ,  5F110FF09 ,  5F110FF27 ,  5F110GG05 ,  5F110GG06 ,  5F110GG13 ,  5F110GG42 ,  5F110HK01 ,  5F110HK02 ,  5F110HK03 ,  5F110HK04 ,  5F110HK06 ,  5F110HK07 ,  5F110HK11 ,  5F110HK21 ,  5F110HK32 ,  5F110HK33 ,  5F110HM04 ,  5F110QQ01