特許
J-GLOBAL ID：201703013111076971
蒸着装置および蒸着方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
特許業務法人新大阪国際特許事務所
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-251262
公開番号（公開出願番号）：特開2015-108172
特許番号：特許第6150070号
出願日： 2013年12月04日
公開日（公表日）： 2015年06月11日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 真空チャンバーと、前記真空チャンバーの内部に配置された配管部と、を備え、前記配管部の内部に配置された蒸着源において気化した材料を、前記真空チャンバーの内部に配置された基板の表面に蒸着させる蒸着装置であって、
前記真空チャンバーの外部に配置された光源と、
前記真空チャンバーの壁に嵌められ、前記光源から出射した第1の光が透過する真空チャンバー透過窓と、
前記真空チャンバー透過窓から入射した前記第1の光を、前記配管部の内部に入射する第2の光と、前記配管部の内部に入射しない第3の光と、に分けるように、前記配管部の壁に嵌められたビームスプリッター手段と、
前記配管部の壁に嵌められた配管部透過窓と、
前記第2の光が、前記配管部の内部の前記気化した材料の中を通過し、前記配管部透過窓を通って、前記真空チャンバー透過窓から出射するように、前記配管部の壁の内側に配置されたミラー手段と、
前記真空チャンバー透過窓から出射した前記第2の光、および前記ビームスプリッター手段によって反射され、前記真空チャンバー透過窓から出射した前記第3の光を検出する検出手段と、
前記光源から出射する前記第1の光、前記検出された第2の光、および前記検出された第3の光を用いて、前記気化した材料の濃度を測定する測定手段と、
を備えることを特徴とする、蒸着装置。
IPC (3件)：
C23C 14/24 ( 200 6.01)
, H01L 51/50 ( 200 6.01)
, H05B 33/10 ( 200 6.01)
C23C 14/24 U
, H05B 33/14 A
, H05B 33/10
