特許
J-GLOBAL ID：201703013165155451

研削装置および研削方法

発明者：
中村 勝

中村 勝 について


出願人/特許権者：
株式会社ディスコ

株式会社ディスコ について


代理人 (1件)： 末成 幹生
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-221003
公開番号（公開出願番号）：特開2014-075405
特許番号：特許第6087565号
出願日： 2012年10月03日
公開日（公表日）： 2014年04月24日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 被加工物と、該被加工物に貼着されたエキスパンド性を有するテープと、該テープの外周が貼着される環状フレームとからなる被加工物ユニットの該被加工物を研削する研削装置であって、 前記被加工物ユニットの前記被加工物を前記テープを介して回転可能に保持する保持面を有する保持テーブルと、前記保持面に吸引力を作用させる負圧生成手段と、前記保持テーブルの外周で前記環状フレームが載置される環状フレーム載置面を有し該環状フレームを固定するとともに該保持テーブルとともに回転する環状フレーム固定手段と、前記環状フレーム固定手段と前記保持テーブルとを相対移動させて前記環状フレーム載置面に対して前記保持面を突出させる移動手段と、を含む保持手段と、 前記保持テーブルで保持された前記被加工物を研削する研削砥石を有した研削手段と、 該研削手段を前記保持テーブルで保持された前記被加工物に対して相対的に近接離反移動させる研削送り手段と、 前記保持手段を所定の搬入出位置から前記研削手段による前記被加工物の研削位置の間を搬送する搬送手段と、 を備えることを特徴とする研削装置。
IPC (2件)：
H01L 21/304 ( 200 6.01) ,  H01L 21/301 ( 200 6.01)
FI (4件)：
H01L 21/304 631 ,  H01L 21/78 Q ,  H01L 21/78 X ,  H01L 21/304 622 H
引用特許：
出願人引用 (4件)
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審査官引用 (4件)
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