特許

J-GLOBAL ID：201703013188120396

ディスクポンプシステムを用いて減圧して流量を測定するためのシステムおよび方法

発明者： ロック,クリストファー,ブライアン ,  タウト,エイダン,マーカス
出願人/特許権者： ケーシーアイ ライセンシング インコーポレイテッド
代理人 (1件)： 特許業務法人北青山インターナショナル
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2014-559908
特許番号：特許第6176498号
出願日： 2013年02月11日
請求項（抜粋）：

【請求項1】 ディスクポンプシステムにおいて、 第1のアクチュエータを有する第1のディスクポンプと、 第2のアクチュエータを有する第2のディスクポンプと、 既知の制限部を有する基板であって、前記第1のディスクポンプと前記第2のディスクポンプが前記既知の制限部によって流体連通している、基板と、 前記第1のアクチュエータの変位を示す第1の反射光信号を受信して第1の変位信号をプロセッサに送信するように動作可能な第1の光受信機と、 前記第2のアクチュエータの変位を示す第2の反射光信号を受信して第2の変位信号を前記プロセッサに送信するように動作可能な第2の光受信機と、を備え、 前記プロセッサが、前記第1のディスクポンプ、前記第2のディスクポンプ、前記第1の光受信機、および前記第2の光受信機に接続され、かつ 前記第1の変位信号の受信に応答して前記第1のディスクポンプの前後の第1の圧力差を決定し、 前記第2の変位信号の受信に応答して前記第2のディスクポンプの前後の第2の圧力差を決定し、かつ 前記第1の圧力差および前記第2の圧力差に基づいて前記ディスクポンプシステムの流体の流量を決定するように構成されていることを特徴とするディスクポンプシステム。

IPC (5件)：

G01F 1/34 ( 200 6.01) ,  F04B 45/047 ( 200 6.01) ,  G01F 1/00 ( 200 6.01) ,  G01F 15/06 ( 200 6.01) ,  G01M 3/26 ( 200 6.01)

FI (6件)：

G01F 1/34 ,  F04B 45/047 C ,  G01F 1/00 Y ,  G01F 1/00 T ,  G01F 15/06 ,  G01M 3/26 A

引用特許：

出願人引用 (1件)

• 特開平4-012230