特許

J-GLOBAL ID：201703013277346969

トラップ装置及びこれを用いた排気系、並びに基板処理装置

発明者： 林 喜代人 ,  及川 雅博
出願人/特許権者： 東京エレクトロン株式会社
代理人 (2件)： 伊東 忠重 ,  伊東 忠彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2016-053431
公開番号（公開出願番号）：特開2017-166031
出願日： 2016年03月17日
公開日（公表日）： 2017年09月21日
要約：

【課題】本発明は、排気系からの脱着を必要とせず、かつ装置稼働環境を適切に保つためのクリーニング周期を長くすることができるトラップ装置及びこれを用いた排気系、並びに基板処理装置を提供することを目的とする。【解決手段】配管60内の流路61に設けられるトラップ部10を有するトラップ装置50であって、 前記トラップ部は、前記配管内の流路に対して傾斜面を有し、該傾斜面に複数の開口11が設けられている。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

配管内の流路に設けられるトラップ部を有するトラップ装置であって、 前記トラップ部は、前記配管内の流路に対して傾斜面を有し、該傾斜面に複数の開口が設けられたトラップ装置。

IPC (2件)：

C23C 16/44 ,  H01L 21/31

FI (2件)：

C23C16/44 J ,  H01L21/31 F

Fターム (18件)：

4K030CA04 ,  4K030CA12 ,  4K030EA12 ,  4K030KA04 ,  4K030KA10 ,  4K030KA11 ,  4K030KA28 ,  4K030KA45 ,  4K030LA15 ,  5F045AA06 ,  5F045AA08 ,  5F045AA15 ,  5F045AB32 ,  5F045AC09 ,  5F045AE01 ,  5F045BB08 ,  5F045EB05 ,  5F045EG08

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 液体冷却捕捉器
  公報種別：公表公報   出願番号：特願平9-528697   出願人：エムケイエスインストゥルメンツインク
• 排気システム
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2015-035795   出願人：東京エレクトロン株式会社