特許
J-GLOBAL ID：201703013365288308

自動焦点制御装置、半導体検査装置および顕微鏡

発明者：
富樫 光宏

富樫 光宏 について

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関谷 晴隆

関谷 晴隆 について

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上山 真司

上山 真司 について


出願人/特許権者：
三星電子株式会社

三星電子株式会社 について


代理人 (1件)： 家入 健
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-255377
公開番号（公開出願番号）：特開2014-102430
特許番号：特許第6119963号
出願日： 2012年11月21日
公開日（公表日）： 2014年06月05日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 撮像素子を有する観察光学系にて被検査物表面を観察できるように前記被検査物表面の相対位置を所与の観察面に位置させるための自動焦点制御装置であって、 フォーカスエラー検査光を発射する光源を有する光源光学系と、 前記光源からのフォーカスエラー検査光を入射光として被検査物の表面に集光させる対物レンズと、 前記被検査物からの反射光を前記対物レンズを介して受光する受光光学系と、 前記受光光学系からの受光信号からフォーカスエラー信号を生成するフォーカスエラー信号生成部と、を具備し、 前記受光光学系は、 前記被検査物からの反射光を第1反射光と第2反射光とに二分割する無偏光ビームスプリッタと、 前記第1反射光の光路上に配置された第1非点隔差発生手段と、 前記第2反射光の光路上に配置された第2非点隔差発生手段と、 前記第1非点隔差発生手段を通過した光を受光する第1光検出器と、 前記第2非点隔差発生手段を通過した光を受光する第2光検出器と、を備え、 前記フォーカスエラー信号生成部は、前記第1光検出器および前記第2光検出器からの受光信号を用いてフォーカスエラー信号を生成し、 前記光源光学系は、前記光源からの光を平行光にするコリメートレンズと、前記コリメートレンズからの光を一旦集光させる集光レンズと、を有するとともに、前記光源、前記コリメートレンズおよび前記集光レンズを含んで当該光源光学系がユニット化されており、前記対物レンズに対し前記光源光学系をユニットとして光軸に沿って相対移動させることにより、前記フォーカスエラー検査光の結像位置を前記所与の観察面から所定の微小距離だけデフォーカスさせ、 前記受光光学系は、前記被検査物表面に対して前記所定の微小距離だけデフォーカスした光の反射光が前記第1光検出器および第2光検出器の受光面に焦点を結ぶように調整するオフセット調整手段を有する ことを特徴とする自動焦点制御装置。
IPC (4件)：
G02B 7/28 ( 200 6.01) ,  G02B 7/40 ( 200 6.01) ,  G02B 21/00 ( 200 6.01) ,  G01N 21/956 ( 200 6.01)
FI (6件)：
G02B 7/28 J ,  G02B 7/28 Z ,  G02B 7/40 ,  G02B 7/28 N ,  G02B 21/00 ,  G01N 21/956 A
引用特許：
出願人引用 (6件)
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審査官引用 (5件)
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