高精度ヒータシステムの製造方法

発明者： , , , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：溝上哲也 , 山本進
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2014-528603
特許番号：特許第6133871号
出願日： 2012年08月30日
請求項（抜粋）：

【請求項1】ヒータを製造する方法であって、誘電層と、第1の両面接着誘電層と、導電層とを有する積層体を形成することと、前記導電層に回路パターンを形成することと、前記回路パターンを第2の両面接着誘電層により被覆することと、前記第2の両面接着誘電層を犠牲層により被覆することと、前記誘電層と、前記第1の両面接着誘電層と、前記導電層と、前記第2の両面接着誘電層とを含む前記ヒータをプレス作業によって形成することと、前記プレス作業の後、前記犠牲層を除去することと、を含むことを特徴とする方法。

IPC (1件)：