特許

J-GLOBAL ID：201703013913658844

光検出ユニット、光検出装置、及び、光検出ユニットの製造方法

発明者： 土屋 龍太郎 ,  永野 輝昌 ,  辻 悠太 ,  河合 剛 ,  大桑 勇樹
出願人/特許権者： 浜松ホトニクス株式会社
代理人 (3件)： 長谷川 芳樹 ,  黒木 義樹 ,  柴山 健一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2016-114519
公開番号（公開出願番号）：特開2017-219443
出願日： 2016年06月08日
公開日（公表日）： 2017年12月14日
要約：

【課題】ガイガーモードAPDを含むチップ間のクロストークを抑制可能な光検出ユニット、光検出装置、及び、光検出ユニットの製造方法を提供する。【解決手段】 光検出ユニットDは、第1配線基板20と、受光面S1sと裏面S1rとを有し、第1主面20s上に二次元状に配列された複数の光検出チップS1と、第1バンプ電極BEと、受光面S1s上に設けられたガラス部材S2と、光反射性又は光吸収性を有する光遮蔽部Fと、を備える。光検出チップS1は、ガイガーモードAPDを含み、裏面S1rが第1主面20sに対向した状態において第1バンプ電極BEにより第1配線基板20に実装されている。光遮蔽部Fは、互いに隣接する光検出チップS1の間に位置する中間領域M1において、少なくとも受光面S1sよりもガラス部材S2に設けられている。【選択図】図9

請求項（抜粋）：

第1主面を有する第1配線基板と、 受光面と前記受光面の反対側の裏面とを有し、前記第1主面上に二次元状に配列された複数の光検出チップと、 前記光検出チップを前記第1配線基板に電気的に接続する第1バンプ電極と、 前記受光面上に設けられた光透過部と、 光反射性又は光吸収性を有する光遮蔽部と、 を備え、 前記光検出チップは、ガイガーモードAPDを含み、前記裏面が前記第1主面に対向した状態において前記第1バンプ電極により前記第1配線基板に実装されており、 前記光遮蔽部は、前記第1主面に交差する第1方向からみて互いに隣接する前記光検出チップの間に位置する中間領域において、少なくとも前記受光面よりも前記光透過部側に設けられている、 光検出ユニット。

IPC (3件)：

G01J 1/02 ,  G01J 1/42 ,  H01L 27/14

FI (3件)：

G01J1/02 Q ,  G01J1/42 H ,  H01L27/14 D

Fターム (19件)：

2G065AA04 ,  2G065BA09 ,  2G065BA34 ,  2G065CA01 ,  2G065CA30 ,  4M118AA05 ,  4M118AB01 ,  4M118BA04 ,  4M118CA03 ,  4M118CB11 ,  4M118FA06 ,  4M118GB04 ,  4M118GB06 ,  4M118GB13 ,  4M118HA02 ,  4M118HA17 ,  4M118HA22 ,  4M118HA31 ,  4M118HA33

引用特許：

審査官引用 (6件)

• 検出器、PET装置及びX線CT装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2013-031555   出願人：浜松ホトニクス株式会社
• 光電変換装置及びX線撮像装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-247709   出願人：キヤノン株式会社
• 特開平1-240887
  
• 特開昭64-013767
  
• 光デバイス
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2004-227121   出願人：日本碍子株式会社
• 特許第6828545号