特許
J-GLOBAL ID：201703013958945585
露光装置、露光方法、及びデバイス製造方法
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：
志賀 正武
, 高橋 詔男
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-285783
公開番号（公開出願番号）：特開2014-127697
特許番号：特許第6119242号
出願日： 2012年12月27日
公開日（公表日）： 2014年07月07日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 液体を介して露光光で基板を露光する露光装置であって、
前記露光光が射出される射出面を有する光学部材と、
前記露光光の光路の周囲の少なくとも一部に配置され、前記光学部材の下方で移動可能な物体上に前記液体の液浸空間を形成可能であり、前記液浸空間の液体の少なくとも一部を回収可能な第1回収部及び前記第1回収部からの前記液体が流通可能な第1流路を有する可動部材を含む液浸部材と、
前記可動部材に接続され、前記第1流路からの前記液体が流通可能な第2流路を有し、少なくとも一部が変形可能な変形部材と、を備え、
前記液浸部材は、前記光学部材の周囲の少なくとも一部に配置される第1部材と、前記第1部材の下方において前記物体が対向可能に配置され、前記第1部材に対して可動な第2部材と、を有し、
前記可動部材は、前記第2部材を含み、
前記第2部材は、前記第1回収部を有し、
前記第1部材は、前記液浸空間を形成するための液体を供給する供給部と前記液浸空間の液体の少なくとも一部を回収可能な第2回収部を有する露光装置。
IPC (1件)：
FI (1件)：
引用特許：
出願人引用 (5件)
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審査官引用 (5件)
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