特許
J-GLOBAL ID：201703014036358458

中間周波数RF帯域の高電圧バイアス電力のためのバイパスコンデンサ

発明者：
サトー・アーサー

サトー・アーサー について


出願人/特許権者：
ラム リサーチ コーポレーション

ラム リサーチ コーポレーション について


代理人 (2件)： 特許業務法人明成国際特許事務所 ,  堀 研一
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2014-543598
特許番号：特許第6125521号
出願日： 2012年11月23日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 プラズマチャンバにおいてアークRF信号を分離させるためのシステムであって、 プラズマチャンバであって、 トップ電極と、 半導体ウエハを支えるための静電チャックと、 前記静電チャックの表面内の複数のクランプ電極の少なくとも1つと前記静電チャックのベース板との間に結合されたコンデンサであって、19ナノファラッドを上回る静電容量を有し、前記静電チャックの内部空間内に配される、コンデンサと、 を含むプラズマチャンバと、 前記静電チャックの前記表面内の対応する複数のリフトピン穴内に支えられた複数のリフトピンと、を含み、 前記複数のリフトピンの各ピンは、前記静電チャックの前記表面内の複数のリフトピン穴のうちの対応する1つのピン内の対応する側面との間に、0.011インチ(0.25mm)未満の隙間を有する、 プラズマチャンバを備えるシステム。
IPC (3件)：
H01L 21/683 ( 200 6.01) ,  H01L 21/3065 ( 200 6.01) ,  H02N 13/00 ( 200 6.01)
FI (3件)：
H01L 21/68 R ,  H01L 21/302 101 G ,  H02N 13/00 D
引用特許：
出願人引用 (5件)
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審査官引用 (5件)
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