特許
J-GLOBAL ID：201703014125983234
硬質潤滑被膜および硬質潤滑被膜被覆工具
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (2件)：
池田 治幸
, 池田 光治郎
公報種別：再公表公報
出願番号（国際出願番号）：JP2013082285
公開番号（公開出願番号）：WO2015-079588
出願日： 2013年11月29日
公開日（公表日）： 2015年06月04日
要約：
硬質且つ耐摩耗性を有する硬質潤滑被膜および硬質潤滑被膜被覆工具を提供する。(CraMobWcVdBe)1-x-y-zCxNyOzの酸炭化物、酸窒化物または酸炭窒化物から成るA層24と、WfC(1-f)から成るB層25とが、交互に2層以上積層されて形成されるものであり、A層24に係る原子比aないしeおよびx、y、zおよびx+y+zは所定の範囲内にあるものであり、B層25に係る原子比fは0.3≦f≦0.7であり、且つ、A層24の膜厚D1は2nm以上500nm以下、B層25の膜厚D2は1nm以上500nm以下、総膜厚Dは0.1μm以上10.0μm以下の範囲内であるため、硬質且つ耐摩耗性を有する硬質被膜10およびドリル12を得ることができる。
請求項（抜粋）：
母材の表面に被覆される硬質潤滑被膜であって、
(CraMobWcVdBe)1-x-y-zCxNyOzの酸炭化物、酸窒化物または酸炭窒化物から成るA層と、WfC(1-f)から成るB層とが、交互に2層以上積層された硬質潤滑被膜であって、
前記A層に係る原子比aは0.2≦a≦0.7、bは0.05≦b≦0.6、cは0≦c≦0.3、dは0≦d≦0.05、e=1-a-b-c-dは0≦e≦0.05、xは0≦x≦0.6、yは0≦y≦0.6、zは0<z≦0.2、x+y+zは0.3≦x+y+z≦0.6であり、
前記B層に係る原子比fは0.3≦f≦0.7であり、
且つ、前記A層の膜厚は2nm以上500nm以下、前記B層の膜厚は1nm以上500nm以下、総膜厚は0.1μm以上10.0μm以下の範囲内であることを特徴とする硬質潤滑被膜。
IPC (4件)：
C23C 14/06
, B23B 27/14
, B23B 51/00
, B23C 5/16
C23C14/06 P
, B23B27/14 A
, B23B51/00 J
, B23C5/16
3C037CC02
, 3C046FF09
, 3C046FF16
, 3C046FF25
, 4K029AA04
, 4K029BA41
, 4K029BA55
, 4K029BB02
, 4K029BB07
, 4K029BC02
, 4K029BD05
, 4K029CA04
, 4K029CA06
, 4K029CA13
, 4K029DC16
, 4K029DD06
, 4K029FA04
, 4K029FA05
, 4K029JA03
